[发明专利]光电子器件和用于制造光电子器件的方法有效

专利信息
申请号: 201080049249.1 申请日: 2010-10-05
公开(公告)号: CN102598327B 公开(公告)日: 2016-10-19
发明(设计)人: 贝恩德·巴克曼;阿克塞尔·卡尔滕巴赫尔;诺贝特·斯塔特;沃尔特·韦格莱特;卡尔·魏德纳;拉尔夫·维尔特 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01L33/62 分类号: H01L33/62;H01L25/075
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;田军锋
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 光电子 器件 用于 制造 方法
【权利要求书】:

1.光电子器件(1),具有:

-支承体本体(3),具有

--连接区域(5);

-设置在所述支承体本体(3)上的半导体芯片(7);

-施加在所述半导体芯片(7)的背离所述支承体本体(3)的表面(8)上的接触区域(10);

其中所述连接区域(5)与所述接触区域(10)经由无支承的传导结构(13)导电连接。

2.根据权利要求1所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)的背离所述半导体芯片(7)的脚部部段(13f)具有在所述连接区域(5)上的空间延伸,和/或,所述传导结构(13)的朝向所述半导体芯片(7)的头部部段(13k)具有在所述接触区域(10)上的空间延伸。

3.根据权利要求2所述的光电子器件,其中在所述脚部部段(13f)和所述头部部段(13k)之间的纵向(X)上的距离最多大约相应于所述半导体芯片的厚度(12)的五倍。

4.根据权利要求2或3所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其脚部部段(13f)和其头部部段(13k)之间具有弯曲的形状。

5.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)具有金属或者金属合金。

6.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其整个延伸上具有大约均匀均匀的传导结构厚度(14)。

7.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其整个延伸上具有大约均匀的传导结构宽度(17)并且其中所述传导结构(13)具有如下宽度(17),所述宽度从大约20μm量级直至所述半导体芯片(7)在横向(Y)上的整个延伸。

8.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述支承体本体(3)具有连接层(6),和/或,其中在所述连接层(6)和所述半导体芯片(7)之间设有接触面(9)。

9.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中在所述半导体芯片(7)的所述表面(8)上设有第二接触区域(10),所述第二接触区域借助于第二传导结构(13)电连接到另一半导体芯片(7)的接触区域(10)或者电连接到连接区域(5)。

10.用于制造光电子器件(1)的方法,所述光电子器件具有

-支承体本体(3),具有

--连接区域(5);

-设置在所述支承体本体(3)上的半导体芯片(7);

-施加在所述半导体芯片(7)的背离所述支承体本体(3)的表面(8)上的接触区域(10);

所述方法具有下述方法步骤:

-将牺牲物质(16)施加到所述光电子器件(1)上;

-移除在所述接触区域(10)之上和在所述连接区域(5)之上的所述牺牲物质(16);

-在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间施加传导结构(13);

-移除所述牺牲物质(16),使得在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)是无支承的。

11.根据权利要求10所述的方法,其中在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)的所述施加通过成面地施加金属化部(16)来实现。

12.根据权利要求11所述的方法,其中成面地施加所述金属化部结构化地通过如下方式来进行:

-丝网印刷,或

-喷射,或

-点胶,或

-喷涂。

13.根据权利要求11所述的方法,其中将成面地施加的所述金属化部结构化为使得将在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)保留。

14.根据权利要求13所述的方法,其中所述将所述金属化部结构化具有下述方法步骤:

-光刻

-电镀增强

-移除光刻膜

-刻蚀掉种子层。

15.根据权利要求10至14之一所述的方法,其中所述移除所述牺牲物质(16)通过下述方法进行:

-剥离,或

-刻蚀,或

-等离子体灰化。

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