[发明专利]光电子器件和用于制造光电子器件的方法有效
申请号: | 201080049249.1 | 申请日: | 2010-10-05 |
公开(公告)号: | CN102598327B | 公开(公告)日: | 2016-10-19 |
发明(设计)人: | 贝恩德·巴克曼;阿克塞尔·卡尔滕巴赫尔;诺贝特·斯塔特;沃尔特·韦格莱特;卡尔·魏德纳;拉尔夫·维尔特 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;H01L25/075 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;田军锋 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光电子 器件 用于 制造 方法 | ||
1.光电子器件(1),具有:
-支承体本体(3),具有
--连接区域(5);
-设置在所述支承体本体(3)上的半导体芯片(7);
-施加在所述半导体芯片(7)的背离所述支承体本体(3)的表面(8)上的接触区域(10);
其中所述连接区域(5)与所述接触区域(10)经由无支承的传导结构(13)导电连接。
2.根据权利要求1所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)的背离所述半导体芯片(7)的脚部部段(13f)具有在所述连接区域(5)上的空间延伸,和/或,所述传导结构(13)的朝向所述半导体芯片(7)的头部部段(13k)具有在所述接触区域(10)上的空间延伸。
3.根据权利要求2所述的光电子器件,其中在所述脚部部段(13f)和所述头部部段(13k)之间的纵向(X)上的距离最多大约相应于所述半导体芯片的厚度(12)的五倍。
4.根据权利要求2或3所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其脚部部段(13f)和其头部部段(13k)之间具有弯曲的形状。
5.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)具有金属或者金属合金。
6.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其整个延伸上具有大约均匀均匀的传导结构厚度(14)。
7.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述传导结构(13)在其整个延伸上具有大约均匀的传导结构宽度(17)并且其中所述传导结构(13)具有如下宽度(17),所述宽度从大约20μm量级直至所述半导体芯片(7)在横向(Y)上的整个延伸。
8.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中所述支承体本体(3)具有连接层(6),和/或,其中在所述连接层(6)和所述半导体芯片(7)之间设有接触面(9)。
9.根据上述权利要求之一所述的光电子器件,其中在所述半导体芯片(7)的所述表面(8)上设有第二接触区域(10),所述第二接触区域借助于第二传导结构(13)电连接到另一半导体芯片(7)的接触区域(10)或者电连接到连接区域(5)。
10.用于制造光电子器件(1)的方法,所述光电子器件具有
-支承体本体(3),具有
--连接区域(5);
-设置在所述支承体本体(3)上的半导体芯片(7);
-施加在所述半导体芯片(7)的背离所述支承体本体(3)的表面(8)上的接触区域(10);
所述方法具有下述方法步骤:
-将牺牲物质(16)施加到所述光电子器件(1)上;
-移除在所述接触区域(10)之上和在所述连接区域(5)之上的所述牺牲物质(16);
-在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间施加传导结构(13);
-移除所述牺牲物质(16),使得在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)是无支承的。
11.根据权利要求10所述的方法,其中在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)的所述施加通过成面地施加金属化部(16)来实现。
12.根据权利要求11所述的方法,其中成面地施加所述金属化部结构化地通过如下方式来进行:
-丝网印刷,或
-喷射,或
-点胶,或
-喷涂。
13.根据权利要求11所述的方法,其中将成面地施加的所述金属化部结构化为使得将在所述接触区域(10)和所述连接区域(5)之间的所述传导结构(13)保留。
14.根据权利要求13所述的方法,其中所述将所述金属化部结构化具有下述方法步骤:
-光刻
-电镀增强
-移除光刻膜
-刻蚀掉种子层。
15.根据权利要求10至14之一所述的方法,其中所述移除所述牺牲物质(16)通过下述方法进行:
-剥离,或
-刻蚀,或
-等离子体灰化。
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