[发明专利]图案产生系统

权利要求书

1.一种图案产生系统，包括

光学系统，该光学系统构造成将激光图像投射至光学扫描器上；和

转子，该转子具有相对于彼此以第一角度布置的多个光学臂，所述转子还包括所述光学扫描器；其中，

所述激光图像顺序被所述光学扫描器反射至所述转子的多个光学

臂中的每个光学臂内，以在工件上产生图案。

2.根据权利要求1的图案产生系统，其中，所述多个光学臂中的每个光学臂将具有一定弓长的图像扫描打印在所述工件上。

3.根据权利要求2的图案产生系统，其中，每个光学臂顺序操作以打印对应的图像扫描，并且每个光学臂打印对应的图像扫描的时间段不重叠。

4.根据权利要求3的图案产生系统，其中，所述激光图像是静态光束的形式，并且当所述静态光束抵达所述光学扫描器的边缘时，在所述多个光学臂中的各光学臂之间发生投射转换。

5.根据权利要求1的图案产生系统，其中，所述光学扫描器和所述多个光学臂以恒定的速度旋转。

6.根据权利要求1的图案产生系统，其中，所述光学扫描器是可旋转的棱镜形式的角锥体光学扫描器。

7.根据权利要求1的图案产生系统，还包括：

聚焦系统，该聚焦系统构造成在所述多个光学臂之间的投射转换期间和投射转换后中的一种情况下，根据所述工件的形貌图和所述多个光学臂之间的聚焦长度变化中的至少一个改变名义聚焦位置。

8.根据权利要求7的图案产生系统，其中，所述聚焦系统包括：

聚焦设备，该聚焦设备构造成在所述多个光学臂之间的投射转换期间和投射转换后中的一种情况下，根据所述工件的形貌图和所述多个光学臂之间的聚焦长度变化中的至少一个改变所述名义聚焦位置；和

聚焦马达，该聚焦马达构造成驱动所述聚焦设备。

9.根据权利要求8的图案产生系统，还包括：

聚焦传感器，该聚焦传感器构造成将位置信息提供给所述聚焦马达；其中，所述聚焦马达根据所述工件的形貌和所述聚焦传感器提供的位置信息中的至少一个使用线性的光学编码器定位。

10.根据权利要求9的图案产生系统，其中，在处理所述工件的光学臂的同时扫描期间，所述聚焦传感器提供用于动态重新聚焦的实时位置信息。

11.根据权利要求9的图案产生系统，其中，所述聚焦传感器从所述工件的之前扫描提供位置信息。

12.根据权利要求9的图案产生系统，其中，所述聚焦传感器设置在与使用位置信息处理工件的光学臂相同或不同的光学臂中。

13.根据权利要求9的图案产生系统，其中，所述聚焦传感器包括：

构造成提供所述工件的形貌图的传感器阵列。

14.根据权利要求8的图案产生系统，其中，所述聚焦马达包括：

构造成抵消作用在所述图案产生系统的移动部分上的力的配重。

15.根据权利要求14的图案产生系统，其中，所述聚焦马达还包括：

马达主体，该马达主体通过导热粘接剂粘结至所述配重，使得热量传递至用作冷却凸缘的配重。

16.根据权利要求14的图案产生系统，其中，所述聚焦马达还包括：

连接至所述配重的管，所述管构造成通过真空抽吸冷却所述聚焦马达。

17.根据权利要求14的图案产生系统，还包括：

软管，该软管连接至所述配重并构造成向所述配重供给空气。

18.根据权利要求14的图案产生系统，其中，所述聚焦马达还包括：

阻尼环，该阻尼环安装在所述配重上并构造成抑制由所述聚焦马达的致动组件和配重之间的撞击导致的损害。

19.根据权利要求8的图案产生系统，其中，所述聚焦马达的行程适于不同厚度的所述工件。

20.根据权利要求8的图案产生系统，其中，所述聚焦马达根据所述工件的高度工作在不同的名义位置。

21.根据权利要求8的图案产生系统，其中，所述聚焦马达还包括：

粘性阻尼器，该粘性阻尼器安装在末端行程处并构造成抑制对聚焦马达的碰撞损害。