[发明专利]打印头单元

权利要求书

1.压电单元，包括：

流体腔室；

流体出口；

致动器，其包括薄膜压电陶瓷元件和膜片，其用作所述流体腔室的壁；以及

支撑元件，其被布置成用于防止所述致动器的被支撑部沿所述致动器的致动运动的主方向运动，同时允许在所述被支撑部的至少两侧进行这样的致动运动，其中

所述支撑元件被连接至大致相对于所述致动器延伸的单元部分。

2.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述压电元件的厚度为大约5微米或更小。

3.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述压电元件的厚度为大约1.5微米或更小。

4.权利要求1所述的压电单元，包括沉积烧结压电陶瓷元件。

5.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述致动器包括图案化压电陶瓷元件。

6.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述图案化压电陶瓷元件包括两个可独立控制的压电陶瓷元件。

7.根据权利要求1所述的压电单元，其中用于将所述致动器连接至驱动电路的互连电极被布置于所述致动器的被支撑部。

8.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述支撑元件从所述流体腔室的底部开始在所述流体腔室中延伸。

9.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述支撑元件包括柱体。

10.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述流体腔室的长度是所述流体腔室的宽度的大约1至3倍。

11.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述致动器在所述流体腔室上方延伸，延伸的距离在两个垂直方向上为至少大约115微米。

12.根据权利要求1所述的压电单元，其中相邻支撑元件之间的距离是30-80微米。

13.根据权利要求1所述的压电单元，其中所述支撑元件在所述出口和进口之间延伸。

14.利用压电致动来喷射流体的方法，包括：

对压电陶瓷元件致动；

使膜片振动，所述膜片被至少一个流体腔室壁以及至少一个支撑元件支撑，从而使得所述膜片在邻近所述支撑元件的至少两侧处偏转，而且膜片的偏转在其与所述支撑元件连接的部分处被抑制；

响应于振动，流体腔室中的流体在通向所述腔室的出口的方向上沿所述支撑元件流动；以及

流体由于振动从相应出口中喷射出。

15.制造压电单元的方法，包括：

通过在膜片上图案化压电陶瓷材料来制造薄膜致动器，其中所述致动器具有大约5微米或更小的厚度；以及

将所述致动器连接至晶片，所述晶片包括流体腔室壁和支撑元件，连接后从与所述致动器的表面垂直的方向看，所述支撑元件在所述腔室的至少一个侧壁之间延伸，从而使得所述支撑元件和所述壁在所述薄膜致动器与所述晶片连接后对支撑所述薄膜致动器。