[发明专利]固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆有效
申请号: | 201080051078.6 | 申请日: | 2010-11-05 |
公开(公告)号: | CN102686713A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 吉田种二郎;铃木清史 | 申请(专利权)人: | 帕莱斯化学株式会社 |
主分类号: | C10M169/06 | 分类号: | C10M169/06;B24B27/06;C10M105/14;C10M105/18;C10M107/34;C10M129/08;C10M129/16;C10M145/26;C10M173/00;C10N30/00;C10N30/18;C10N40/22;C10N40/ |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固定 研磨 粒线锯用 水溶性 切割 使用 铸锭 方法 回收 所得 | ||
技术领域
本发明是关于一种用于使用固定研磨粒线锯来切割硅铸锭的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。
背景技术
先前以来,硅铸锭的切割是使用利用游离研磨粒的带锯或线锯的切割。使用游离研磨粒的带锯或线锯的切割具有以下问题:经切割的晶圆上附着有浆料,后续步骤中的清洗负担较高,此外,难以从硅铸锭的切割使用液中分离出游离研磨粒、油污、切割液,而回收性较差。
对于这些问题,业界开发出一种使用电沉积或树脂黏结剂(resin bond)将研磨粒固定于在线的固定线锯,其具有简化清洗步骤及可从硅铸锭的切割使用液中分离出切割液与油污,而提高回收性的优点。业界提出水或如专利文献1及2的水溶性切割液作为使用该固定线锯切割硅时所使用的切割液。
[专利文献1]日本特开2003-82334号公报
[专利文献2]日本特开2009-57423号公报
发明内容
然而,在使用这些水溶性切割液切割硅的情形时,存在硅与水反应而产生氢气的缺点,并且由于硅与水反应所产生的氢气,而引起发泡或硅凝聚,而使切割液的黏度上升,无法获得目标的切割性能。又存在由于硅与水反应所产生的氢气与切割液本身的发泡性,而其后使用离心分离机的回收性较差的问题。
因此,本发明提供了一种切割性能较高,可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。
为解决上述的问题,本发明的众发明人反复潜心研究,结果发现,通过使用以特定比例含有(a)由特定通式所构成的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100~300的低分子量二醇醚的至少一种、以及(c)水的水溶性切割液,即便在用于固定研磨粒线锯的情形时,切割性能也高,并且可抑制因硅与水反应而产生氢气。即,本发明是一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液,其特征在于:含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100~300的低分子量二醇醚的至少一种、以及(c)水,(a)与(b)之比为1∶99~50∶50,(c)的含量为5~50重量%。
C4H9O(EO)m(AO)nR1 (1)
其中,R1表示氢原子或碳数为1~8的烷基或烯基,EO表示氧伸乙基(oxyethylene group),AO表示碳数为3~4的氧伸烷基(oxyalkylene group),m及n分别表示1~20的加成摩尔数。
此外,本发明是一种铸锭切割方法、固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法、及使用上述铸锭切割方法切割所得的晶圆,上述铸锭切割方法的特征在于:使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液,通过固定研磨粒线锯来切割硅铸锭;上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法的特征在于:通过该铸锭切割方法进行铸锭的切割后,使用离心分离机从硅中分离出固定研磨粒线锯用水溶性切割液。
如上所述,根据本发明,可提供一种切割性能较高,并且可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。
具体实施方式
本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切割液所使用的(a)聚醚的式(1)中,R1为氢原子或碳数为1~8的烷基或烯基,EO为氧伸乙基,AO为碳数为3或4的氧伸烷基,m及n分别表示1~20的加成摩尔数。又,式(1)所示的聚醚可通过无规聚合而聚合,也可以通过嵌段聚合而聚合。式(1)所示的聚醚的重量平均分子量优选为200~2,000。如此将聚醚限定为式(1)所示的聚伸烷二醇丁醚是因为:若使用甲基或乙基等的醚,则在固定研磨粒线锯中无法获得充分的切割性能。作为此种聚伸烷二醇丁醚,例如有Yukanol 50MB-5(日油公司制造)等。
又,(b)的二醇优选为具有2个OH基,且分子量或重量平均分子量为60~3,500,例如有单乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、单丙二醇、二丙二醇、三丙二醇、己二醇及聚乙二醇、聚丙二醇等聚伸烷二醇等。并且,(b)的低分子量二醇醚的分子量为100~300即可,例如有二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁醚及二乙二醇单己醚等。
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