[发明专利]能源节约和全球气体排放监测

权利要求书

1.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的设备，所述设备包括：

控制器，所述控制器：

确定一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及

报告所述一组能源使用测量。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述控制器还构造成通过对所述一组能源使用测量与基线组能源使用测量进行比较来计算并报告能源节约。

3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述能源使用测量代表所述一个或多个制造系统辅助生产层在低功率配置中的能源消耗。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的设备，其中，所述控制器是辅助生产层前端控制器。

5.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的设备，其中，针对瞬时时间(instantaneous time)、时间帧、或所述制造工具的使用寿命当中的至少一者来报告所述能源使用测量。

6.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的设备，还包括用于显示所述一组能源使用测量的显示装置。

7.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的设备，其中，所述控制器还构造成向远程服务器报告所述一组能源使用测量。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述远程服务器根据预定排放测量标准来提供排放追踪和报告。

9.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的系统，所述系统包括：

一个或多个控制器，所述一个或多个控制器：

确定一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及

向远程服务器报告所述一组能源使用测量；以及

其中，所述远程服务器对来自所述一个或多个控制器的所述能源使用测量进行聚合(aggregate)并提供经聚合的能源使用报告。

10.一种用于提供半导体制造工具的能源使用统计的方法，所述方法包括以下步骤：

确定耦合至控制器的一个或多个制造系统辅助生产层的一组能源使用测量；以及

报告所述能源使用测量。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括以下步骤：

通过对所述一组能源使用测量和基线组能源使用测量进行比较，来计算能源节约；以及

报告所述能源节约。

12.根据权利要求10或11所述的方法，还包括至少一个以下步骤：

其中，所述能源使用测量代表所述一个或多个制造系统辅助生产层在低功率配置中的能源消耗；或

其中，针对瞬时时间、时间帧、或所述制造工具的使用寿命当中的至少一者来报告所述能源使用测量。

13.根据权利要求10或11所述的方法，还包括以下步骤：显示所述一组能源使用测量。

14.根据权利要求10或11所述的方法，其中，向远程服务器报告所述一组能源使用测量。

15.根据权利要求10或11所述的方法，其中，所述报告所述能源使用测量的步骤还包括以下步骤：以与预定排放测量标准一致的格式，来报告所述一组能源使用测量。