[发明专利]用于检测等离子体处理系统中等离子体约束状态的方法及装置

权利要求书

1.一种用于检测等离子体处理腔室中的等离子体无约束的方法，所述等离子体处理腔室具有静电（ESC）卡盘，所述方法包括：

将RF电压提供给所述ESC卡盘；

设置ESC电源单元，所述ESC电源单元被配置为将DC偏压提供给所述ESC卡盘，所述ESC电源单元连接有中间抽头以接收所述RF电压；

同时监测所述RF电压和所述中间抽头的变化，所述变化指示等离子体无约束状况；以及

如果通过所述监测检测到所述等离子体无约束状况，则提供指示所述等离子体无约束状况存在的信号。

2.如权利要求1中所述的方法，其中，所述RF电压为包括至少两个RF频率的宽带RF电压。

3.如权利要求1中所述的方法，其中，所述监测包括检测所述RF电压的变化。

4.如权利要求3中所述的方法，其中，所述监测进一步包括判定所述变化的量值是否超过预定阈值。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述监测包括检测所述RF电压的正变化。

6.如权利要求1所述的方法，其中，所述监测包括检测所述中间抽头上的开环DC响应的变化。

7.如权利要求6所述的方法，其中，所述监测进一步包括判定所述变化的量值是否超过预定阈值。

8.如权利要求1所述的方法，其中，所述监测包括检测所述中间抽头上的开环DC响应的正变化。

9.如权利要求1所述的方法，其中，所述开环DC响应代表开环DC电压。

10.如权利要求1所述的方法，其中，所述开环DC响应代表开环DC电流。

11.如权利要求1所述的方法，其中，所述监测包括：检测所述RF电压的变化以及检测所述中间抽头上的开环DC响应的变化。

12.如权利要求1所述的方法，其中，所述信号用作响应于检测到所述等离子体无约束状况而自动启动校正措施的反馈信号。

13.一种用于检测等离子体处理腔室中的等离子体无约束的装置，所述等离子体处理腔室具有静电（ESC）卡盘，所述ESC卡盘被配置为接收RF电压，所述装置包括：

ESC电源单元，其被配置为将DC偏压提供给所述ESC卡盘，所述ESC电源单元连接有中间抽头以接收所述RF电压；以及

用于分析所述RF电压和所述中间抽头上的开环DC响应的变化的器件，所述变化指示等离子体无约束状况。

14.如权利要求13所述的装置，其中，所述RF电压为包括至少两种RF频率的宽带RF电压。

15.如权利要求13所述的装置，其中，所述用于分析的器件被配置为至少检测所述RF电压的正变化。

16.如权利要求13所述的装置，其中，所述用于分析的器件还被配置为判定所述RF电压的变化的量值是否超过预定阈值。

17.如权利要求13所述的装置，其中，所述用于分析的器件被配置为至少检测所述中间抽头上的开环DC响应的正变化。

18.如权利要求13所述的装置，其中，所述用于分析的器件还被配置为判定所述开环DC响应的变化的量值是否超过预定阈值。

19.如权利要求13所述的装置，其中，所述开环DC响应代表开环DC电压。

20.如权利要求13所述的装置，其中，所述开环DC响应代表开环DC电流。