[发明专利]用于能源节约的控制接口解决方案

说明书

技术领域

本发明涉及电子装置的制造，更具体地，涉及用于增加电子装置制造系统的效率的系统和方法。

背景技术

电子装置制造设施或“半导体代工厂(fab)”一般使用执行生产电子装置的制造处理的处理工具。这些处理包括物理气相沉积、化学气相沉积、蚀刻、清洁和其它电子装置制造处理。应理解，本发明并不限于任何特定电子装置制造处理。半导体代工厂一般在一层布置有清洁室，并且在较低的一层布置有包括辅助系统和装置的室(在本文中称为“辅助生产层(sub-fab)”)，辅助系统和装置支持清洁室。为了方便于参照，术语“辅助系统”和“辅助装置”可以在本文中可交换地使用以描述辅助生产层系统和/或装置。辅助生产层的一个重要功能是减少有毒、可燃、或其它潜在有害的物质，这些物质是电子装置制造处理的常见副产品。辅助生产层通常使用大量的能量并产生大量的废热，这会具有不利的环境影响和对半导体代工厂经营者来说是非常昂贵的。

因此，发明人提供使用较少能量、具有其它优点、而不会负面地影响半导体代工厂的生产的改善的辅助生产层控制。

发明内容

本发明提供用于电子装置制造系统的增强控制的方法和装置。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以经由装置的开放平台而使用以太网和/或RS232串行通信，以在电子装置制造期间实现减少的碳足迹。对于本示例，系统可以包括处理工具集和控制器，处理工具集和控制器由传感器或软件连接而与可以在一个或多个能量消耗状态下操作的一个或多个辅助生产层或本地工厂辅助系统进行互连。根据处理的需要，这些一个或多个辅助系统可以经由控制器在能量消耗的不同等级之间切换。集成辅助生产层系统还可以实时地测量和列表显示每个组件消耗的能量，或者根据需要进行报告。对于许多辅助组件或系统而言，集成辅助生产层利用现有的信号输出，对其辅助组件或系统而言，集成辅助生产层可以利用次级传感器或监视器。

在一些实施例中，用于为功率受管理的辅助生产层提供故障安全通信标准的装置可以包括辅助生产层，辅助生产层配置成：基于从控制器接收的一个或多个命令而在功率受管理状态下操作；从控制器接收心跳信号；和响应于对于规定的超时间隔没有接收到心跳信号，退出功率受管理状态并进入全功率操作状态。

在一些实施例中，用于为功率受管理的辅助生产层提供故障安全通信标准的系统可以包括控制器和辅助生产层，控制器配置成：将一个或多个指令发送至辅助生产层以将辅助生产层配置成在一个或多个功率受管理状态下操作、和将心跳信号发送至辅助生产层以表示出辅助生产层仍然与控制器进行通信，并且辅助生产层配置成：受到控制器的配置而在一个或多个功率受管理状态下操作、从控制器接收心跳信号、和响应于没有在规定的超时间隔内接收到心跳信号而在全功率操作状态下操作。

在一些实施例中，用于为功率受管理的辅助生产层提供故障安全通信标准的方法包括以下步骤：在功率受管理状态下操作辅助生产层；确定在规定的超时间隔内是否接收到心跳信号；和响应于没有在规定的超时间隔内接收到心跳信号，在全功率操作状态下操作辅助生产层。

本发明的其它和进一步的实施例将于下文描述。

附图说明

本发明的实施例已在上文中简短概述并将在下文中详细描述，通过参照附图中示出的本发明的示例性实施例可以理解本发明的实施例。但是应当注意，附图仅示出本发明的典型实施例，因此不应当认为是对本发明范围的限制，因为本发明可以容许有其它等效的实施例。

图1是根据本发明的一些实施例的用于操作电子装置制造系统辅助生产层的系统的示意图。

图2是根据本发明的一些实施例的使用于电子装置制造系统中的集成辅助生产层系统的示意图。

图3是根据本发明的一些实施例的用于操作和配置一个或多个制造系统辅助生产层的控制器的框图。

图4是根据本发明的一些实施例的从辅助生产层前端控制器到辅助生产层制造子系统的心跳信号的框图。

图5是描述用于实施在制造系统辅助生产层上的故障安全通信标准的方法的流程图。

为了便于了解，尽可能地使用相同的附图标记来标明共同出现在各图式中的相同的组件。附图并未按比例绘制并且为清晰起见可被简化。需考虑一个实施例的组件和特征可以有益地结合于其它实施例中，而不需要进一步详述。

具体实施方式

本发明的实施例为辅助生产层提供改进的控制系统，该控制系统可有利地减低电子装置制造系统的能源使用和操作成本。