[发明专利]制造氢化硅烷的方法

权利要求书

1.由卤硅烷制备氢化硅烷的方法，

特征在于

a)　 　i) 至少一种通式Si_nX_2n+2的卤硅烷(其中n≥3且X = F、Cl、Br和/或I)，和

　　　ii) 至少一种以下通式的催化剂

NRR'_aR''_bY_c

其中a = 0或1，b = 0或1，和c = 0或1，和

Y =                                                ，， 或 ，

其中

　　　　　　aa) － R，R'和/或R''为-C₁-C₁₂-烷基、-C₁-C₁₂-芳基、-C₁-C₁₂-芳烷基、-C₁-C₁₂-氨基烷基、-C₁-C₁₂-氨基芳基、-C₁-C₁₂-氨基芳烷基，和/或

      － 在c = 0的情况下，两个或三个R、R'和R''基团一起形成含N的环状或二环、杂脂族或杂芳族体系，

      － 条件是至少一个R、R'或R''基团不为-CH₃，

      和/或

　　　　　　bb) -R和R'和/或R'' (在c = 1的情况下)为-C₁-C₁₂-亚烷基，-C₁-C₁₂-亚芳基，-C₁-C₁₂-亚芳烷基，-C₁-C₁₂-亚杂烷基，-C₁-C₁₂-亚杂芳基，-C₁-C₁₂-亚杂芳烷基和/或-N=，

或

　　　　　　cc) －(在a = b = c = 0的情况下) R = ≡C-R''' (其中R''' = -C₁-C₁₀-烷基，-C₁-C₁₀-芳基，和/或-C₁-C₁₀-芳烷基)，

反应而形成包含至少一种通式Si_mX_2m+2的卤硅烷(其中m＞n且X = F、Cl、Br和/或I)和SiX₄ (其中X = F、Cl、Br和/或I)的混合物，

和

b) 将所述至少一种通式Si_mX_2m+2的卤硅烷氢化形成通式Si_mH_2m+2的氢化硅烷。

2.根据权利要求1的方法，

特征在于

通式Si_nX_2n+2的卤硅烷为直链硅烷。

3.根据权利要求1或2的方法，

特征在于

所述至少一种卤硅烷为选自具有通式Si₃X₈或Si₄X₁₀的化合物，其中X = F、Cl、Br和/或I。

4.根据在前权利要求任一项的方法，

特征在于

所述催化剂选自有或没有其它杂原子的环状、二环和多环胺化合物。

5.根据权利要求4的方法，

特征在于

所述催化剂为二氮杂双环辛烷、吡啶或N,N-1,4-二甲基哌嗪。

6.根据在前权利要求任一项的方法，

特征在于

在氢化之前，通过在-30至+100℃的温度和0.01至1100 mbar的压力下蒸馏出或抽出SiX₄，将所述至少一种通式Si_mX_2m+2的卤硅烷与SiX₄分离。