[发明专利]环状化合物、其生产方法、放射线敏感性组合物和抗蚀图案形成方法

权利要求书

1.一种环状化合物，其由下式(1)表示：

(式(1)中，R¹²独立地为选自由6至20个碳的烷基、3至20个碳的环烷基、6至20个碳的芳基、1至20个碳的烷基甲硅烷基和2至20个碳的烷基酯基或者氢原子组成的组的官能团；(在这方面，它们中R¹²的至少之一为选自由6至20个碳的烷基、3至20个碳的环烷基、6至20个碳的芳基、1至20个碳的烷基甲硅烷基和2至20个碳的烷基酯基组成的组的官能团)

X独立地为选自由氢原子、1至20个碳的烷基、3至20个碳的环烷基、6至20个碳的芳基、1至20个碳的烷氧基、氰基、硝基、羟基、杂环基团、卤素原子、羧基、1至20个碳的烷基甲硅烷基和2至20个碳的烷基酯基组成的组的官能团；

R’独立地为选自由1至20个碳的烷基、具有羧基的1至20个碳的烷基、3至20个碳的环烷基、具有羧基的3至20个碳的环烷基、6至20个碳的芳基、1至20个碳的烷氧基、氰基、硝基、杂环基团、卤素原子、羧基、羟基、1至20个碳的烷基甲硅烷基和2至20个碳的烷基酯基组成的组的官能团；(在这方面，R’的至少之一为具有羧基和/或羟基的1至20个碳的烷基、具有羧基和/或羟基的3至20个碳的环烷基，或者由下式表示的基团：

其中，R⁴为选自由1至14个碳的烷基、3至14个碳的环烷基、6至14个碳的芳基、1至14个碳的烷氧基、氰基、硝基、杂环基团、卤素原子、羧基、羟基、1至14个碳的烷基甲硅烷基和2至14个碳的烷基酯基组成的组的官能团，R⁴的至少之一为羟基或羧基，p为1至5的整数。))

2.根据权利要求1所述的环状化合物，其中所述环状化合物为由上式(1)表示的化合物，式(1)中，R¹²的至少之一为选自由6至20个碳的烷基、6至20个碳的环烷基、6至20个碳的芳基、1至20个碳的烷基甲硅烷基和2至20个碳的烷基酯基组成的组的官能团，R¹²的至少另一个为氢原子。

3.根据权利要求1所述的环状化合物，其中所述环状化合物为由下式(3)表示的化合物：

(式(3)中，R¹²和p与上述相同。)

4.根据权利要求3所述的环状化合物，其中所述环状化合物由下式(3-1)至(3-4)的任一种异构体表示：

(式(3-1)至(3-4)中，R¹²和p与上述相同。)

5.根据权利要求3所述的环状化合物，其中所述环状化合物由下式(3’-1)至(3’-4)的任一种异构体表示：

(式(3’-1)至(3’-4)中，R⁴和p与上述相同；R⁵为选自由1至3个碳的烷基、3至6个碳的环烷基、6至14个碳的芳基、1至14个碳的烷氧基、氰基、硝基、杂环基团、卤素原子、羧基、羟基和1至14个碳的烷基甲硅烷基，或者氢原子组成的组的官能团，q为0至2的整数。)

6.一种由式(1)表示的环状化合物(A)的生产方法，所述方法包括将选自由芳香族羰基化合物(A1)组成的组的一种或多种和选自由酚类化合物(A2)组成的组的一种或多种进行缩合反应的步骤。

7.根据权利要求6所述的生产方法，其中反应温度为0至60℃。

8.一种放射线敏感性组合物，其包含根据权利要求1所述的环状化合物和溶剂。

9.根据权利要求8所述的放射线敏感性组合物，其包括1至80重量%的固体组分和20至99重量%的溶剂。

10.根据权利要求8或9所述的放射线敏感性组合物，其中所述环状化合物为固体组分总重量的50至99.999重量%。