[发明专利]有机薄膜的成膜装置以及有机材料成膜方法

权利要求书

1. 一种成膜装置，具有：配置成膜对象物的成膜槽，生成有机材料的蒸气的蒸气生成装置，以及被供给由上述蒸气生成装置生成的上述蒸气的排放装置，上述蒸气从形成在上述排放装置上的排放口向上述成膜槽内排放，其特征在于，

上述蒸气生成装置具有：供给上述有机材料的材料供给装置，上述有机材料从上述材料供给装置供给到其中、并对上述有机材料进行蒸发的蒸发装置，将由上述蒸发装置生成的上述蒸气析出并进行再次蒸发的缓冲部，以及控制上述缓冲部的温度的缓冲用温度控制装置，

由上述蒸发装置生成的上述蒸气通过上述缓冲部向上述排放装置供给，在上述成膜对象物上形成上述有机薄膜。

2. 如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

具有多个上述蒸气生成装置。

3. 如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

具有检测来自上述缓冲部的蒸气的一部分的膜厚监测器，

上述缓冲用温度控制装置基于上述膜厚监测器的检测值控制上述缓冲部的温度。

4. 如权利要求1至3中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

上述材料供给装置使具有螺旋的轴旋转，使上述有机材料向上述蒸发装置落下。

5. 如权利要求1至4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

上述蒸发装置具有测定从上述材料供给装置供给的上述有机材料的量的材料供给量测定机构。

6. 如权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

上述材料供给量测定机构具有接收从上述材料供给装置供给的上述有机材料的接收部件，以及根据上述接收部件的温度变化计算出上述有机材料的供给量的温度测定解析装置。

7. 如权利要求1至6中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

上述缓冲部由多根金属细线集合而成，上述金属细线相互部分重合，通过上述金属细线与上述金属细线之间的间隙形成流路。

8. 如权利要求1至6中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

上述缓冲部由多个网构成，

上述网的网眼和上述网眼之间的间隙形成流路。

9. 如权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

多个上述网中第一网的单位面积上的网眼个数为位于在上述缓冲部内流动的上述蒸气的上述第一网的下游一侧的第二网的单位面积上的网眼个数以下。

10. 如权利要求1至9中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

在上述材料供给装置上连接有供给逆流防止气体的逆流防止气体供给装置。

11. 如权利要求1至10中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

上述蒸气生成装置具有将通过上述缓冲部后的上述蒸气的行进方向在作为上述排放装置内部的第一方向和朝向上述排放装置的内部以外的第二方向之间切换的切换装置。

12. 如权利要求11所述的成膜装置，其特征在于，

上述蒸气生成装置具有：上述蒸气所接触的收集部配置在收集槽的内部、并且上述收集槽内部能够进行真空排气地构成的收集装置，以及将上述收集部冷却到比上述蒸发温度更低温的收集温度的低温装置，

上述第二方向为上述收集槽内部。

13. 一种成膜装置，具有：配置成膜对象物的成膜槽，生成有机材料的蒸气的蒸气生成装置，以及被供给由上述蒸气生成装置生成的上述蒸气的排放装置，上述蒸气从形成在上述排放装置上的排放口向上述成膜槽内排放，其特征在于，

上述蒸气生成装置具有：供给上述有机材料的上述材料供给装置，对从上述材料供给装置供给的上述有机材料进行蒸发的蒸发装置，上述蒸气所接触的收集部配置在收集槽的内部、并且上述收集槽内部能够进行真空排气地构成的收集装置，将上述收集部冷却到比上述蒸发温度更低温的收集温度的低温装置，以及将由上述蒸发装置生成的上述蒸气的行进方向切换成朝向上述排放装置和上述收集部的某一方的切换装置，

由上述蒸发装置生成的上述蒸气向上述排放装置供给，在上述成膜对象物上形成上述有机薄膜。