[发明专利]用于制造滑动轴承元件的方法无效
申请号: | 201080056294.X | 申请日: | 2010-11-05 |
公开(公告)号: | CN102712990A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | W·格特纳 | 申请(专利权)人: | 米巴·格来特来格有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;F16C33/12 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 董华林 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 滑动 轴承 元件 方法 | ||
1.一种用于制造滑动轴承元件(1)的方法,该方法在气体氛围中利用阴极溅射并在采用至少一个金属的靶(16)的情况下通过给基体的表面(5)涂覆以摩擦学上有效的滑动层(6)来制造滑动轴承元件,其特征在于,采用具有圆柱形空腔(3)的基体,靶(16)至少部分地设置在空腔(3)中,此外通过第三电极(26)辅助或维持用于靶(16)的雾化的放电。
2.根据权利要求1所述方法,其特征在于,采用热阴极作为第三电极(26)。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,作为靶(16)采用合金,所述合金在200°C的温度下开始熔化或者在该温度下熔化。
4.根据权利要求1至3之一所述的方法,其特征在于,作为靶(16)采用合金,所述合金包含选自包括Al、Cu、Ag、Sn、Bi、Sb的组的元素作为主合金元素。
5.根据权利要求1至4之一所述的方法,其特征在于,采用具有选自5mm至55mm的范围的最大直径的靶(16)。
6.根据权利要求1至5之一所述的方法,其特征在于,待涂层的基体表面到靶表面的距离最小为5mm。
7.根据权利要求1至6之一所述的方法,其特征在于,在基体的表面(5)上产生摩擦学上有效的层之前,通过逆转的阴极溅射在采用惰性气体的情况下对所述表面(5)进行清洁。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,在对表面进行清洁期间向基体上施加-300V至-1400V之间的电压。
9.根据权利要求1至8之一所述的方法,其特征在于,在涂层期间在基体上施加偏置电压,所述偏置电压选自下限为-200V和上限为-10V的范围中。
10.根据权利要求1至9之一所述的方法,其特征在于,在涂层期间调节和/或控制基体的温度。
11.一种金属的滑动轴承元件(1),具有轴承元件体(9),所述轴承元件体具有支承元件(4)并具有圆柱形的空腔(3),所述空腔具有内表面(5)和内直径(7),在内表面(5)上设置金属的滑动层(6),其特征在于,轴承元件体的内直径为最大70mm,而滑动层(6)通过阴极溅射形成。
12.根据权利要求11所述的滑动轴承元件(1),其特征在于,轴承元件体(9)沿轴向方向的长度(8)大于内直径(7)。
13.根据权利要求11或12所述的滑动轴承元件(1),其特征在于,轴承元件体(9)无缝地构成。
14.根据权利要求11至13之一所述的滑动轴承元件(1),其特征在于,滑动层(6)由这样的合金构成,所述合金包含一种构成主要成分的基本元素,所述基本元素由包括Al、Cu、Ag、Sn、Pb、Bi、Sb的组中选出。
15.根据权利要求11至14之一所述的滑动轴承元件(1),其特征在于,滑动层(6)具有没有沿轴向方向的纹理的组织结构。
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