[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，包括：

涡轮分子泵送机构，所述涡轮分子泵送机构与Siegbahn泵送机构串联；

第一泵入口，气体借助所述第一泵入口能够传送经过所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构；以及

级间入口，气体借助所述级间入口能够在所述涡轮分子泵送机构和所述Siegbahn泵送机构之间的位置处进入所述泵并且仅传送经过所述Siegbahn泵送机构；

其中，所述Siegbahn泵送机构的多个第一级中的流动通道与所述级间入口流体连通，并且通过所述级间入口进入所述泵的气体沿所述流动通道被平行泵送。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送机构的第一级和第二级中的流动通道与所述级间入口流体连通，借助所述级间入口进入所述泵的气体沿所述流动通道被平行泵送。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其中，在使用中，流体沿所述流动通道从在与所述级间入口接近的径向向外位置处的流动通道的相应入口被泵送到在所述径向向内位置处的相应出口。

4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，级间进入气和所述涡轮分子泵送机构的排出气能够借助所述Siegbahn泵送机构在不同的压力下被独立地泵送。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送机构的所述第一级中的一个或多个流动通道构造用于泵送所述级间进入气，并且在所述第一级中的一个或多个流动通道构造用于泵送所述涡轮分子泵送机构的排出气。

6.根据权利要求4所述的真空泵，其中，所述Siegbahn泵送机构的多个所述第一级的每个中的一个或多个流动通道构造用于泵送所述级间进入气，并且在多个所述第一级的每个中的一个或多个流动通道构造用于泵送所述涡轮分子泵送机构的排出气。