[发明专利]具有吹扫气体系统的干式真空泵和吹扫方法

权利要求书

1.一种正排量干泵，包括：

多个真空抽汲级，其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构，以通过所述抽汲级将流体连续地从所述高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口；

容纳用于支承所述传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室，所述传动轴通过所述润滑室的顶板的开口从所述高真空级延伸到所述润滑室；

级间吹扫端口，气体能通过所述级间吹扫端口而在所述高真空级的下游的级间位置处进入所述泵，并且仅传送通过所述级间端口的下游的所述真空抽汲级或各个真空抽汲级；

位于所述润滑室中的润滑室吹扫端口，吹扫气体能通过所述润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出；

其中，所述级间端口连接到所述润滑室上，以控制所述润滑室中的吹扫气体的压力，从而阻止抽汲气体在使用期间通过所述顶板的所述开口从所述高真空室传送到所述润滑室。

2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，选择所述级间端口的位置，使得在使用中，所述润滑室中的吹扫气体的压力大体高于所述高真空室中的抽汲气体的压力，从而在所述润滑室和所述高真空级之间提供正压力差。

3.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，在所述级间吹扫端口处的压力响应于所述高真空级中的抽汲气体的压力，使得所述高真空级中的压力的变化导致所述润滑室中的吹扫气体的压力有对应的[被动的]变化。

4.根据权利要求3所述的泵，其特征在于，所述高真空级中的抽汲气体的压力的增大导致所述润滑室中的吹扫气体的压力增大，使得在进入到所述高真空室中的抽汲气体的流量增大的期间，所述润滑室中的吹扫气体的压力增大，以阻止抽汲气体通过所述顶板中的所述开口从所述高真空级传送到所述润滑室。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的泵，其特征在于，所述润滑室吹扫端口位于所述顶板中，使得吹扫气体能流到所述顶板的所述开口中的轴密封件中。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的泵，其特征在于，所述润滑室吹扫端口通过一个或多个管道而连接到所述级间吹扫端口上，使得吹扫气体流到所述润滑室中时所处的压力由所述级间吹扫端口处的压力控制。

7.根据权利要求6所述的泵，其特征在于，所述管道包括用以减少气体流传导到所述润滑室的节流器。

8.根据权利要求6或7所述的泵，其特征在于，所述管道包括用于阻止抽汲气体从所述级间端口传送到所述润滑室的单向阀。

9.根据权利要求1至5中的任一项所述的泵，其特征在于，所述润滑室包括第二吹扫端口，所述第二吹扫端口通过管道而连接到所述级间吹扫端口上，使得吹扫气体能从所述润滑室流到所述级间端口。

10.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，所述管道包括用以减少气体流从所述润滑室传导到所述级间吹扫端口的节流器。

11.一种吹扫系统，包括根据前述权利要求中的任一项所述的正排量干泵，以及通过第一管道而连接到所述润滑室吹扫端口上的吹扫气体源，使得在使用期间，在所述级间吹扫端口处的抽汲气体的压力控制接收自所述源的吹扫气体的压力，使得减少抽汲气体通过所述顶板中的所述开口从所述高压力级传送到所述润滑室。

12.根据权利要求11所述的吹扫系统，其特征在于，所述吹扫气体源通过第二管道而连接到所述第一管道上，使得所述润滑室中的吹扫气体的压力响应于所述级间端口处的抽汲气体的压力。

13.根据权利要求11所述的吹扫系统，其特征在于，第二管道将所述级间端口连接到所述润滑室中的第二吹扫端口上，使得吹扫气体能从所述润滑室流到所述级间端口。