[发明专利]基板用涂布装置及基板涂布方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种使喷嘴相对于玻璃基板等板状基板向一个方向扫描并从喷嘴喷出抗蚀液等涂布液而对基板的涂布面涂布涂布液的基板用涂布装置。

背景技术

对玻璃基板等板状基板表面涂布涂布液时，使用下述基板用涂布装置：使狭缝状的喷嘴在与基板表面之间设置有间隙的状态下，沿着与狭缝正交的规定的扫描方向相对于基板表面而进行扫描。

为了提高大型基板的生产效率，可考虑以下方式：经由传送带，将多块基板依次传送到配置有喷嘴的涂布处理位置，将涂布处理后的基板传送到下一个处理位置。

为了对基板表面以所需厚度均匀地涂布涂布液，需要使喷嘴的前端和基板的表面的间隔保持一定。因此，在涂布处理位置上，配置上表面平滑的精密载物台。对放置在精密载物台上的基板，从喷嘴涂布涂布液。

作为现有的基板用涂布装置，存在以下装置（例如，参照专利文献1）：将使狭缝状的喷嘴移动的导轨以不与基板干扰的状态，沿着与基板传送方向正交的方向配置在配置有称为放置台的精密载物台的涂布处理位置上。

在记载于专利文献1的构成中，狭缝状的喷嘴的长度方向沿着基板传送方向配置，相对于传送到精密载物台上的基板，狭缝状的喷嘴沿着导轨向与基板传送方向正交的方向移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－298775号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，记载于专利文献1的基板用涂布装置中，使喷嘴相对于在涂布处理位置上停止了向传送方向的移动的基板而向与基板传送方向正交的方向移动，因此在涂布处理中无法使基板向传送方向移动，从而涂布处理作业的生产节拍时间变得长时间化。

另一方面，在配置有精密载物台的涂布处理位置上，在使用传送用机器人、单元间传送机构的情况下，在涂布处理作业过程中也需要停止基板的移动，涂布处理作业的生产节拍时间变得长时间化。

本发明的目的在于提供一种基板用涂布装置，能够使基板沿着传送路径移动的同时将涂布液涂布到基板表面，从而能够缩短涂布处理作业的生产节拍时间。

用于解决问题的手段

本发明涉及的基板用涂布装置具有载物台、喷嘴、传送带、载物台移动单元、喷嘴升降单元、传送带升降单元、控制单元。载物台水平地设置有放置基板的放置面，沿着传送方向在上游端和下游端之间自由往返移动。传送带以基板的表面位于水平面内的方式沿着规定的传送方向经由载物台的放置面传送基板，该传送带的至少规定范围的长度的中间部自由升降。载物台移动单元使载物台在规定范围内的上游端和下游端之间往返移动。传送带升降单元使传送带的中间部在传送面与载物台的放置面一致的传送位置、和传送面比载物台的放置面靠下方的非传送位置之间升降。控制单元构成为控制载物台移动单元及传送带升降单元的动作，使得在放置面放置有通过传送带传送的基板的载物台从上游端向下游端移动的期间，从喷嘴对基板的表面喷出涂布液。

发明效果

根据本发明，能够不停止基板在传送方向的移动而进行对基板表面的涂布处理，从而能够缩短涂布处理作业的生产节拍时间。

附图说明

图1是本发明的实施方式涉及的基板用涂布装置的俯视图。

图2是该基板用涂布装置的主视图。

图3是该基板用涂布装置的控制部的框图。

图4是表示该控制部的处理步骤的流程图。

图5的（A）~（E）是说明本发明的基板涂布方法的图。

附图标记说明

1主框架；

2副框架；

3第1上游侧传送带；

4第2上游侧传送带；

5第1下游侧传送带；

6第2下游侧传送带；

7精密载物台；

8喷嘴；

9涂底辊（priming roller）；

10基板用涂布装置；

100控制部；

W基板。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式涉及的基板用涂布装置。

如图1及图2所示，本发明的实施方式涉及的基板用涂布装置10具有：主框架1、副框架2、第1上游侧传送带3、第2上游侧传送带4、第1下游侧传送带5、第2下游侧传送带6、精密载物台7、喷嘴8、涂底辊9、控制部100。