[发明专利]填充有机颗粒的抛光垫及其制造和使用方法

权利要求书

1.一种抛光垫，其包括：

片材，其具有第一主侧面以及与所述第一主侧面相对的第二主侧面；以及

多个抛光元件，其沿着基本上垂直于所述第一主侧面的第一方向从所述第一主侧面向外延伸，其中所述抛光元件的至少一部分与所述片材一体地形成并横向连接，以限制所述抛光元件相对于一个或多个其它抛光元件的横向移动，但仍可沿基本上垂直于所述抛光元件的抛光表面的轴线移动，其中所述多个抛光元件的至少一部分包括处于连续聚合物相中的有机颗粒填料。

2.一种抛光垫，其包括：支承层，其具有第一主侧面以及与所述第一主侧面相对的第二主侧面；以及

多个抛光元件，其粘结到所述支承层的第一主侧面，其中每个抛光元件具有暴露的抛光表面，以及

其中所述抛光元件沿着基本上垂直于所述第一主侧面的第一方向从所述支承层的第一主侧面延伸，并且其中所述多个抛光元件的至少一部分包括处于连续聚合物相中的有机颗粒填料。

3.根据权利要求2所述的抛光垫，其中每一抛光元件通过粘结至所述支承层而固定到所述第一主侧面上。

4.根据权利要求3所述的抛光垫，其还包括与所述支承层相对的导向板，其中所述导向板包括延伸穿过所述导向板的多个孔，并且其中每一抛光元件的至少一部分延伸到对应的孔中。

5.根据权利要求4所述的抛光垫，其中每一抛光元件的一部分穿过所述对应的孔。

6.根据权利要求4所述的抛光垫，其中每一抛光元件具有凸缘，并且其中每一凸缘的周长均大于所述对应的孔的周长。

7.根据权利要求2所述的抛光垫，其中所述导向板包含聚合物、共聚物、共混聚合物、聚合物复合材料或它们的组合。

8.根据权利要求2所述的抛光垫，其中所述导向板沿所述第一方向保持所述抛光元件的取向，同时允许所述抛光元件沿所述第一方向相对于所述导向板独立地平移。

9.根据权利要求2所述的抛光垫，其还包括覆盖所述导向板的至少一部分的抛光组合物分布层。

10.根据权利要求1所述的抛光垫，其还包括覆盖所述第一主侧面的至少一部分的抛光组合物分布层。

11.根据权利要求9或10所述的抛光垫，其中每个抛光元件沿所述第一方向延伸高出包括所述抛光组合物分布层的平面至少约0.25mm。

12.根据权利要求9或10所述的抛光垫，其中所述抛光元件的至少一些的抛光表面与所述抛光组合物分布层的暴露表面齐平。

13.根据权利要求9或10所述的抛光垫，其中所述抛光元件的至少一些的抛光表面凹至低于所述抛光组合物分布层的暴露表面。

14.根据权利要求12或13所述的抛光垫，其中所述抛光组合物分布层包括硬度小于所述抛光元件的硬度的可磨蚀材料。

15.根据权利要求9或10所述的抛光垫，其中所述抛光组合物分布层包含至少一种亲水性聚合物。

16.根据权利要求9或10所述的抛光垫，其中所述抛光组合物分布层包含泡沫。

17.根据权利要求2或9中任一项所述的抛光垫，其中每个抛光元件被被热粘结到所述支承层上。

18.根据权利要求2或9中任一项所述的抛光垫，其中所述支承层包括热塑性聚氨酯。

19.根据权利要求1、2、9或10中任一项所述的抛光垫，其还包括固定到与所述多个抛光元件相对的所述第二主侧面上的适形层。

20.根据权利要求19所述的抛光垫，其中所述抛光组合物分布层的适形度小于所述适形层的适形度。

21.根据权利要求19所述的抛光垫，其中所述适形层通过位于所述适形层与所述第二主侧面之间的界面处的粘合剂层而固定到所述第二主侧面上。

22.根据权利要求19所述的抛光垫，其中所述适形层包含选自聚硅氧烷、天然橡胶、苯乙烯-丁二烯橡胶、氯丁橡胶、聚氨酯、聚乙烯以及它们的组合的聚合物材料。

23.根据权利要求19所述的抛光垫，其还包括固定到与所述第二主侧面相对的所述适形层上的压敏粘合剂层。