[发明专利]设置有防尘机构的线性致动器

说明书

技术领域

本发明涉及设置有防尘机构的线性致动器，并且特别地，涉及可用在例如洁净室中的设置有防尘机构的线性致动器。

背景技术

迄今，本申请人和与其相关的关联公司已经提供了如在下述专利文献1中公开的设置有防尘机构等的多种类型的致动器(其包括用于引导将被移动的目标运动的运动引导装置)。例如，专利文献1中提供的设置有防尘机构的线性致动器设置有用于确定地防止灰尘等通过形成在致动器壳体中的开口泄漏的功能，并且为了避免防尘带和移动台的突出部之间在致动器壳体的开口处的干扰，特别地设置防尘带关于移动台的旁路或迂回装置。

在下文将参照图10说明专利文献1中公开的设置有防尘机构的线性致动器。进一步说明的是，图10是用于说明根据常规技术的设置有防尘机构的线性致动器的结构的视图，其中(a)图示设置有防尘机构的线性致动器的上表面侧，(b)图示其前表面侧，并且(c)图示设置有防尘机构的线性致动器的剖面图。

如图10所示，根据常规技术的设置有防尘机构的线性致动器1包括细长(长且薄)的盒状壳体构件2、被以能够旋转的状态支撑在盒状壳体构件2内的滚珠丝杠3、能够响应于滚珠丝杠3的旋转运动线性地往复移动的活动台以及用于驱动和转动滚珠丝杠3的驱动电动机5。

壳体构件2设置有水平基板21、从水平基板21上垂直地直立并平行于滚珠丝杠3延伸的一对横向垂直侧板22和23、以及分别地安装至垂直侧板22和23的前端部和后端部的端部件24和25。滚珠丝杠3的一端由一个端部件24支撑为能够旋转，滚珠丝杠3的另一端以穿过端部件25并与驱动电动机5侧连接的方式也由另一个端部件25支撑为能够旋转。

横向垂直侧板22和23具有以直角向内弯曲为水平上板部22a和23a的上端部。中央间隔(分隔)板26设置在横向水平上板部22a和23a之间的中间部处，并且中央间隔板26的前端部和后端部分别安装并固定至端部件24和25。作为这种布置的结构，左侧开口27形成在水平上板部22a和中央间隔板26之间，以沿滚珠丝杠3的轴向方向，即，沿活动台4的移动方向延伸。同样地，右侧开口28形成在水平上板23a和中央间隔板26之间。

各个开口27和28由防尘带29和30封闭和密封，每个防尘带具有大于每个开口的宽度的宽度。防尘带29和30沿着水平上板部22，23和中央间隔板26的下表面侧在端部件24和25之间伸展。

如上所述，壳体构件2构成由水平基板21、垂直侧板22、23(即，水平上板部22a、23a)、中央间隔板26、端部件24、25和封闭和密封开口27、28以覆盖滚珠丝杠3的防尘带29、30分隔成盒形的隔间，从而实现将从致动器产生的灰尘保持在分隔的隔间的内部的功能。

活动台4设置有与滚珠丝杠3螺纹连接的滚珠丝杠螺母形成在其上的螺母部件41、固定至螺母部件41的上表面的下板42、固定至下板42的上表面的中间板43、和固定至中间板43的上表面的上板44。螺母部件41的两个侧表面由安装在壳体构件2内的直线导轨31支撑为能够沿滚珠丝杠3的轴向方向滑动。

活动台4具有一结构，其中上板44定位在壳体构件2的外侧上，中间板43、下板42和螺母部件41定位在壳体构件2内。也就是说，上板44从开口27和28向外突出，并且当上板44连接至将被引导的目标时，移动作用力施加至将被引导的目标。

此外，从定位在活动台4中的壳体构件2内的横向(左右)侧表面水平地突出的辊子61-66被设置为用于以能够旋转的状态绕过防尘带29和30的旁路装置。以使得中心设置的辊子63和64定位得比设置在沿轴向方向的两端侧的辊子61、62、65和66低的方式布置这些辊子61-66(进一步，将要说明的是，虽然辊子65设置在与辊子66相对的位置，但辊子65未在图10中出现，并且因此已将辊子65描述为辊子(65))。

各个防尘带29和30在各个辊子61-66上伸展，以防止从开口27和28向外突出的上板44干扰防尘带29和30。也就是说，防尘带29和30在各个辊子61-66之上伸展以在上板44的突出部之下绕过，并且更具体地，左侧(图10(a)中的图纸上的上侧)防尘带29在前侧辊子61的上方经过，围绕中央辊子63的下侧伸展，并且随后在后侧辊子(65)的上方经过。以类似的方式，右侧(图10(a)中的图纸上的下侧)防尘带30在前侧辊子62的上方经过，围绕中央辊子63的下侧伸展，并且随后在后侧辊子66的上方经过。