[发明专利]涂覆的切削工具有效
申请号: | 201080061150.3 | 申请日: | 2010-12-14 |
公开(公告)号: | CN102812149A | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | M·埃考拜;R·格林瓦德;O·埃滋昂伊 | 申请(专利权)人: | 伊斯卡有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C30/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周李军;孟慧岚 |
地址: | 以色*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切削 工具 | ||
1.一种涂覆的切削工具,其包含基底和涂层;其中:
所述涂层包含至少一个包含多个纳米复合物纳米层的多重纳米层;
所述纳米复合物纳米层由嵌入非晶Si3N4基体的结晶(TixAlyCrz)N组成,其中0.25≤x≤0.75,0.25≤y<0.75,0.05≤z≤0.2,0.85≤x+y+z≤0.97,且1-x-z<0.75;
硅的原子比为1-x-y-z;且
所述纳米复合物纳米层的厚度为1nm-100nm。
2.根据权利要求1的涂覆的切削工具,其中所述多重纳米层包含至少两个不同组成的纳米复合物纳米层。
3.根据权利要求1的涂覆的切削工具,其中:
所述多重纳米层还包含厚度为1nm-100nm的第二纳米层;
所述第二纳米层是结晶;且
第二纳米层包含:
(a)由选自以下的一种或多种金属组成的金属材料:Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Y和Ru;或者
(b)陶瓷材料,其包含:
(b1)选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Y和Ru的一种或多种元素的一种或多种硼化物、碳化物、氮化物或氧化物,
(b2)金刚石,或
(b3)BN。
4.根据权利要求3的涂覆的切削工具,其中:
所述第二纳米层包含(TiaAlbMe1-a-b)(CvN1-v),其中0≤a≤1,0≤b<0.75,且0≤v≤1;且
Me是选自Cr、Mo、V、Nb、Ta、Zr、Hf、Y和Ru的金属。
5.根据权利要求3的涂覆的切削工具,其中所述多重纳米层包含至少两个不同组成的第二纳米层。
6.根据权利要求3的涂覆的切削工具,其中所述多重纳米层包含与第二纳米层交替层叠的纳米复合物纳米层。
7.根据权利要求3的涂覆的切削工具,其中所述多重纳米层包含在连续的纳米复合物纳米层之间的两个或更多个第二纳米层。
8.根据权利要求3的涂覆的切削工具,其中所述多重纳米层包含50-300个纳米复合物纳米层。
9.根据权利要求1的涂覆的切削工具,其中:
所述涂层还包含至少一个在基底和多重纳米层之间的中间层;且
所述中间层包含选自Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si、Y和Ru的一种或多种元素的一种或多种硼化物、碳化物、氮化物或氧化物。
10.根据权利要求9的涂覆的切削工具,其中:
所述至少一个中间层为(TiaAlbMe1-a-b)(CvN1-v),其中0≤a≤1,0≤b<0.75,且0≤v≤1;
Me是选自Cr、Mo、V、Nb、Ta、Zr、Hf、Y和Ru的金属;且
所述中间层的厚度为0.5μm-10μm。
11.根据权利要求9的涂覆的切削工具,其中:
所述中间层还包含至少两个不同组成的次层;且
所述次层的厚度为1nm-500nm。
12.根据权利要求9的涂覆的切削工具,其中:
所述涂层还包含在基底和中间层之间的粘附层,所述粘附层的组成与中间层的组成不同;
所述粘附层包含至少一层(MewAl1-w)N,其中0.5≤w≤1;
M为钛和/或铬;且
所述粘附层的厚度为0.1μm-2μm。
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