[发明专利]涡电流测量传感器和使用该涡电流测量传感器的检验方法

权利要求书

1.一种涡电流测量探头传感器，其特征在于包括:

励磁部，所述励磁部：i）包括主励磁部和多个副励磁部，所述主励磁部包括主芯部和主线圈，所述主芯部由圆柱形磁性体形成，所述主线圈是沿周向方向围绕所述主芯部缠绕的螺线管线圈，所述多个副励磁部包括副芯部，所述副芯部由圆柱形磁性体形成，所述副芯部以使得每个副芯部的轴向方向与所述主芯部的轴向方向相同的方式围绕所述主励磁部布置，所述多个副励磁部构造为相对于所述主励磁部沿所述主芯部的轴向方向独立地改变每个副芯部的位置；并且ii）将预定交流励磁信号施加至待测量部件；以及

检测部，所述检测部检测与来自于已被施加有所述预定交流励磁信号的所述待测量部件的涡电流对应的检测信号。

2.如权利要求1所述的传感器，其中，所述副励磁部中的每一个副励磁部包括副线圈，所述副线圈是沿周向方向围绕所述副芯部缠绕的螺线管线圈，并且所述副励磁部中的每一个副励磁部构造为使得在所述主励磁部的所述主线圈处生成并且穿过所述主芯部的磁通的方向与在所述副励磁部中的每一个副励磁部的所述副线圈中生成并且穿过所述副芯部的磁通的方向相反。

3.如权利要求1或2所述的传感器，其中，所述主励磁部构造为沿所述主芯部的轴向方向独立地改变所述主线圈和所述主芯部的相对位置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的传感器，其中，所述检测部包括以所述主励磁部的轴向部为中心放射状地布置的多个检测线圈；并且，使所述多个检测线圈各自独立地且选择性地关于所述检测信号的检测被采用或者被忽略。

5.如权利要求1至4中任一项所述的传感器，其中，所述检测部包括布置在所述励磁部的整个末端表面上的多个饼形线圈或多个平面线圈，并且所述末端表面是位于所述待测量部件侧的表面。

6.如权利要求1至4中任一项所述的传感器，其中，所述检测部包括多个竖直螺线管线圈和多个水平螺线管线圈，所述多个竖直螺线管线圈以使得所述多个竖直螺线管线圈中的每一个竖直螺线管线圈的轴向方向与所述主芯部的轴向方向相同的方式布置在所述励磁部的末端表面中的、与所述主励磁部和所述副励磁部相对的位置，所述多个水平螺线管线圈以使得所述多个水平螺线管线圈中的每一个水平螺线管线圈的轴向方向垂直于所述主芯部的轴线的方式沿径向布置在所述励磁部的所述末端表面中的、所述主励磁部与所述副励磁部之间的位置。

7.如权利要求1至6中任一项所述的传感器，其中，所述检测部包括布置为沿所述主芯部的径向方向位于所述副励磁部的外侧并且与所述副励磁部相邻的多个检测线圈。

8.如权利要求中1至7中任一项所述的传感器，其中，所述预定交流励磁信号是通过将预定交流电压施加至所述主线圈而生成的磁场。

9.如权利要求1至8中任一项所述的传感器，其中，所述检测信号是由所述涡电流感生的电压。

10.一种检验方法，其特征在于包括:

通过使用如权利要求1至9中任一项所述的传感器执行涡电流测量来检验待测量部件。