[发明专利]多晶硅的制造方法

权利要求书

1.一种多晶硅的制造方法，其特征在于，其包括：

使原料金属硅与氯气反应，获得低纯度四氯化硅的四氯化硅制造工序，

蒸馏该低纯度四氯化硅，获得高纯度四氯化硅的四氯化硅蒸馏工序，

从反应炉的上部供给该高纯度四氯化硅的蒸气和锌的蒸气，从该反应炉的下部排出排气，在该反应炉内进行四氯化硅蒸气与锌蒸气的反应，并且使生成的多晶硅在该反应炉内析出，获得多晶硅的多晶硅制造工序，

将该排气中的成分分离为氯化锌和未反应锌的混合物、和未反应四氯化硅的第1分离工序，以及，

将该第1分离工序中分离的该氯化锌和未反应锌的混合物电解，获得锌和氯气的电解工序，

将该第1分离工序中分离的该未反应四氯化硅输送到该四氯化硅蒸馏工序，与该低纯度四氯化硅一起蒸馏，

将该电解工序中获得的氯气用作在该四氯化硅制造工序中反应的氯气，

将该电解工序中获得的锌用作在该多晶硅制造工序中反应的锌。

2.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法，其特征在于，所述多晶硅制造工序是从反应炉的上部供给四氯化硅蒸气和锌蒸气，从该反应炉的下部排出排气，在该反应炉内进行四氯化硅蒸气与锌蒸气的反应，并且使所生成的多晶硅在析出棒上析出的多晶硅制造工序。

3.根据权利要求2所述的多晶硅的制造方法，其特征在于，所述析出棒是碳化硅棒。

4.根据权利要求1所述的多晶硅的制造方法，其特征在于，

所述多晶硅制造工序是将四氯化硅蒸气和锌蒸气从设置于反应炉内的内插容器的上部供给到该内插容器内，从该内插容器的下部排出排气，在该内插容器内进行四氯化硅蒸气与锌蒸气的反应的多晶硅制造工序。