[发明专利]用于介电阻挡地进行等离子体处理的电极装置和用于对表面进行等离子体处理的方法

权利要求书

1.用于对导电体的用作反电极且不规则地三维成形的表面介电阻挡地进行等离子体处理的电极装置，其具有面状的电极(1)和电介质(2，3)，所述电介质被构造用于相对于待处理的表面以确定的间距布置以形成冷等离子体，其特征在于，所述电介质(2，3)通过柔性的面状材料构成，所述材料在其向着待处理表面的侧上设有一结构(4)，以便当所述电介质(2，3)敷设在待处理的表面上时形成空气引导区域(7)；所述面状的电极(1)柔性地构成并且这样地固定在所述所述电介质(2，3)上，使得所述电介质(2，3)的层(2)将所述电极(1)与待处理的表面隔离。

2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述面状的电极(1)埋入到所述电介质(2，3)中并且能够与一从所述电介质(2，3)导出的接头接触接通。

3.根据权利要求2所述的电极装置，其特征在于，所述面状的电极在所有侧上埋入到所述电介质(2，3)中。

4.根据权利要求1至3之一所述的电极装置，其特征在于，所述电介质(2，3)被构造用于贴靠在生物的皮肤上。

5.根据权利要求1至4之一所述的电极装置，其特征在于，所述电极(1)通过柔性的金属丝格栅构成。

6.根据权利要求1至5之一所述的电极装置，其特征在于，所述电极(1)由碳纤维或碳纤维编织物构成。

7.根据权利要求1至6之一所述的电极装置，其特征在于，所述电介质(2，3)的结构(4)一体地构造在所述电介质(2，3)的层(2)中，所述层将所述电极(1)与待处理的表面隔离。

8.根据权利要求1至6之一所述的电极装置，其特征在于，所述结构(4)作为单独构成的覆层与所述电介质(2，3)的层(2)连接，所述层将所述电极(1)与待处理的表面隔离。

9.根据权利要求1至8之一所述的电极装置，其特征在于，所述结构(4)由突出的凸瘤(5)构成，所述凸瘤形成透气的中间空间(6)。

10.根据权利要求9所述的电极装置，其特征在于，所述凸瘤(5)构造为圆柱形、锥形或截锥形。

11.用于借助于根据权利要求1至10之一所述的电极装置对表面进行等离子体处理的方法，其特征在于，面状的电极装置利用所述电介质(2，3)的向着所述表面构成的结构敷设在所述表面上并且适配于所述表面的轮廓。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述电极装置敷设在不规则地三维成形的表面上。