[发明专利]形状稳定的镜像模块及稳定反射元件的方法

权利要求书

1.一种镜像模块(10)，包括：

反射元件(12)；

基座元件(16)，该基座元件(16)附接至所述反射元件(12)；

热交换结构(13)，该热交换结构(13)用来传递热量至所述镜像模块和/或从所述镜像模块传递热量；

第一热泵(14)，其能操作地位于所述反射元件(12)和所述热交换结构(13)之间；以及

第二热泵(19)，其能操作地位于所述基座元件(16)和所述热交换结构(13)之间。

2.根据权利要求1所述的镜像模块，其中，所述热交换结构(13)位于所述反射元件(12)和所述基座元件(16)之间。

3.根据权利要求1或2所述的镜像模块，进一步包括用于测量所述反射元件(12)的温度的第一温度传感器(17)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述第一热泵和/或所述第二热泵(14、19)为热电元件。

5.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述热交换结构(13)为用于液体或气体的通道。

6.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述模块包括用于测量所述基座元件(16)的温度的第二温度传感器(18)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述模块包括用于测量所述热交换结构(13)的温度的第二或第三温度传感器(21)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述模块包括热通量传感器(20)，所述热通量传感器(20)位于从所述反射元件(12)至所述热交换结构(13)的热流路径中，用于测量所述反射元件(12)和所述热交换结构(13)之间的热流量。

9.根据前述权利要求中任一项所述的镜像模块，其中，所述镜像模块包括加热元件(22)，所述加热元件(22)用于在与面向所述反射元件(12)的侧面相反的侧面处向所述基座元件(16)提供热负荷。

10.一种用于稳定反射元件的形状的方法，所述方法包括连续步骤：

测量所述反射元件的温度；

确定所述测量的温度与预定温度之间的差；以及

传递热量至所述反射元件或从所述反射元件传递热量以补偿所述温差；

利用位于从所述反射元件(12)到所述热交换结构(13)的热流路径中的热通量传感器(20)测量所述反射元件和热交换结构之间的热流量；

所述测量的热流量被用于调节热量传递。