[发明专利]插板阀的密封结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种夹入电子纸、有机EL、薄膜太阳电池、液晶显示装置的滤色器等的基底材料以及其他片状部件而进行密封的插板阀的密封结构，尤其涉及可以以小型的机械配置来提高插板阀的密封性能的插板阀的密封结构。

背景技术

图12是将上述的片状部件间歇性地移送至真空腔或密封腔(下面统称为“腔”)中，在停止于该腔内的片状部件的部件表面进行PVD或CVD等加工的例如真空加工装置的概念图。

图12的真空加工装置在通过真空泵抽吸成真空的腔的出入口设置插板阀。该插板阀通过夹入片状部件而封住该部件表面，从而隔开腔内与其外部，使腔内保持真空。关于具有这种功能、构成的插板阀，已被例如专利文献1(参照该文献1的图2和图3)所公开。

该文献1中公开的插板阀(下面称为“现有的插板阀”)具有使片状部件插入而通过的弹性筒体35、使弹性筒体35在径向发生弹性变形的上下活塞71A、71B(参照该文献的图2和图3)。并且，在该插板阀中，通过上下活塞71A、71B使弹性筒体35向内侧挠曲，用挠曲的弹性筒体35夹入片状部件10，用弹性筒体35的内表面封住所夹入的片状部件10的部件两面。

但是，在现有的插板阀中，用弹性筒体35夹入片状部件10时，弹性筒体35的上下没有硬度差，片状部件可能发生变形，并且弹性筒体35必须分别与上部活塞71A和下部活塞71B连接，因此在维修等过程中需要更换弹性筒体35时，更换作业非常费事。并且，用弹性筒体35夹入片状部件10时，弹性筒体35与片状部件10的两端肯定会产生微小间隙，因此用设置在腔的两侧的两个插板阀保持腔内高度真空是困难的。

作为保持腔内的高真空的方法，可以采用除设置在腔的插板阀之外，增设差压排气腔和插板阀以及真空泵而进行差压排气的方法，但这种方法存在因增设部件而导致装置的机械构成大规模化的缺点。

需要说明的是，上述符号是专利文献1中使用的符号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-30754号公报

发明内容

技术问题

本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于提供一种以小型的设备配置适合获得密封性和维护性良好的插板阀的插板阀密封结构。

技术方案

为了解决上述目的，本发明所提供的夹入片状部件进行密封的插板阀的密封结构，包含：具有挤推面的挤推部件；具有与所述挤推面面对的承受面的承受部件；将一端开口到所述承受面的通道；设置在所述承受面与挤推面之间，并对通道的开口端周围的间隙进行密封的环状的第一密封件；在将所述挤推面挤推到承受面的状态下观察时，与所述第一密封件相邻的第二密封件；将所述挤推面挤推到所述承受面时，由该挤推面、承受面、所述第一密封件和第二密封件、以及穿插所述通道的片状部件包围的空间；与所述空间连通的差压排气通道，所述空间通过所述差压排气通道进行排气，由此成为以差压排气对片状部件周围的微小间隙进行密封的差压排气密封的差压室。

在本发明中，可以采用第一密封件安装在挤推面，第二密封件与该第一密封件相邻地安装在同一个挤推面的结构，或者采用第一密封件安装在承受面，第二密封件与该第一密封件相邻地安装在同一个承受面的结构。

在本发明中，可以采用第一密封件安装在挤推面，第二密封件安装在承受面，在将挤推面挤推到承受面时使承受面的第二密封件与挤推面的第一密封件相邻而布置的结构，或者采用第一密封件安装在承受面，第二密封件安装在挤推面，将挤推面挤推到承受面时使挤推面的第二密封件与承受面的第一密封件相邻而布置的结构。

在本发明中，可以采用挤推面和承受面具有相对于穿插通道的片状部件的部件表面大致平行的面和相对于该部件表面倾斜的面，而且各自的大致平行的面彼此面对，各自的倾斜的面彼此面对，第一密封件安装在挤推面或承受面的倾斜的面上，第二密封件安装在挤推面或承受面的大致平行的面的结构。

在本发明中，所述倾斜的面可以设置为平面。

有益效果

在本发明中，通过采用上述结构，可以得到以下作用效果。

(1)通过第一密封件密封通道的开口端周围的间隙的同时，通过差压排气而密封穿插通道的片状部件周围的微小间隙，因此无需与插板阀分开设置差压排气装置，可以期望以小型的设备配置获得密封性能良好的插板阀。