[发明专利]涂层设备清洁方法有效
| 申请号： | 201080062436.3 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102812154A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | P·內夫 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44;B24C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曹若;杨国治 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂层 设备 清洁 方法 | ||
【权利要求书】：
1.涂层设备的副面的清洁方法，包含下述步骤：
—在涂层之前在涂层室的副面涂敷抗粘附层
—涂层之后借助干冰喷射和或二氧化碳—干冰喷射清洁方法处理副面。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，抗粘附层含有由粉末与易挥发溶剂组成的悬浮液。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，抗粘附层有一个金属层，所述金属层比在涂层过程中涂敷的层明显要厚。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，抗粘附层是如下的层，其粘附作用是以荷花效应为基础。
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