[发明专利]用于关闭腔壁中的开口的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于关闭低压腔或真空腔的腔壁中的开口的装置，其具有：

-至少一个可移动地支承的关闭机构(Verschlussorgan)和

-带有通孔和至少一个包围通孔的支座面(Sitzflaeche)的至少一个基体，其中，通孔可带到与腔壁中的开口相叠或者处于相叠，和

-关闭机构的至少一个打开的位置，在其中通孔由关闭机构开启；和关闭机构的至少一个关闭的位置，在其中通孔在使用关闭机构的情况下完全关闭，和

-带有至少一个可充气的腔的至少一个弹性的密封件，其中，密封件在关闭的位置中布置在关闭机构与支座面之间且将关闭机构对支座面密封。

背景技术

低压腔或真空腔在现有技术中经常被用于在低压和/或气体密封下执行制造工序和加工工序。在低压或真空被建立在低压腔或真空腔中之前，为了能够将待加工的工件引入低压腔或真空腔中，在其腔壁中需要开口，其又可在引入待加工的对象之后被关闭。这种类型的装置用于相应地关闭低压腔或真空腔的腔壁中的这些开口。当然，该装置这样来设计，使得待加工的对象在关闭机构的打开的位置中不仅可被带入低压腔或真空腔中，而且又可被从其中取出。这种类型的装置可作为单独的零件来制造并且相应地紧固在腔壁处。但是也可能将该装置或它的基体直接集成到腔壁中。通过该装置的紧固以及通过集成在腔壁处或腔壁中，该装置的通孔无论如何被带到与腔壁中的开口相叠，使得当关闭机构在打开的位置中时，待加工的工件可被引导穿过该装置中的通孔和腔壁中的开口。在关闭机构的关闭的位置中，通孔和因此还有腔壁中的开口完全关闭。在非常多的不同的设计形式中存在该类型的关闭装置。这种类型的装置设置有至少一个弹性的密封件，其具有可充气的腔，其中，密封件在关闭的位置中布置在关闭机构与支座面之间并且将关闭机构对支座面密封。该所谓的可充气的密封件具有该优点，即其可平衡支座面(其被压紧到该处)中的不平度。另外，其节省了关闭机构在朝向支座面的方向上和在远离支座面的方向上的附加的运动并且因此允许这种类型的装置的机械上更简单的结构。

在现有技术中，与低压腔或真空腔相关联，不同的可充气的密封件是已知的。由文件US 5,772,950 A例如已知借助于可充气的密封件将真空腔的盖子紧固在真空腔的剩余的腔壁处。文件US 2004/0123916 A1以及文件GB 1530977 A也显示类似的东西。由文件US 4,080,526 A已知一种用于电子束加工的装置，在其中可充气的密封件同样被用于真空腔的密封。

该可充气的密封件的缺点在于，尤其由于老化现象等可导致密封件中可充气的腔的壁的破裂，因此穿过如此产生的裂缝，用于给密封件充气的流体在加工工序期间可被挤入低压腔或真空腔中。这通常不仅导致在低压腔或真空腔中进行的工序的干扰，而且由于高的压差大多也导致待加工的对象的破坏并且可能还导致低压腔或真空腔本身的损坏或破坏。

发明内容

本发明的目的是这样改进这种类型的装置，使得在可充气的腔中泄漏的情况中不可导致在压力下在可充气的腔中存在的流体流出到低压腔或真空腔中。

根据本发明，这通过除了可充气的腔之外弹性的密封件具有用于在可充气的腔中泄漏的情况中容纳来自可充气的腔的流体的至少一个安全腔来实现。

本发明的基本思想因此在于在密封件本身中设置有至少一个附加的腔，即安全腔，其在可充气的腔的壁中泄漏的情况中可容纳从可充气的腔流出的流体，使得其不可流出到低压腔或真空腔中。根据该思想，因此该至少一个安全腔直接集成到弹性的密封件中。更有利地，在此该至少一个安全腔邻近于可充气的腔来布置。在本发明的实施方案中设置成，可充气的腔与该至少一个安全腔通过密封件的至少一个间壁来分离。特别优选的设计形式在此设置有在可充气的腔与安全腔之间的间壁中的理论断裂部位(Sollbruchstelle)。该理论断裂部位在此更有利地如此来实施，使得当在密封件的可充气的腔中出现泄漏时，其在理论断裂部位处出现。理论断裂部位的概念在此不应如此来理解，即在那里在正常运行中应招致破裂，而是当出乎意料发生断裂时，其至少在限定的部位处即理论断裂部位处发生。在此涉及一个部位，其有目的地更弱地来构造，由此当破裂以不希望的方式发生时，其在那里出现。通过可充气的腔由间壁且由密封件的其它的壁来包围并且间壁比其它的壁至少局部更弱地并且/或者更薄地来构造，这例如可被实现。该至少一个安全腔在此可由密封件的间壁和外侧壁来限制。