[发明专利]可变电容装置

权利要求书

1.一种可变电容装置，具备：

基板；

可动构造部，其经由弹簧构造与所述基板连接；

驱动电容部，其使基于施加DC电压而生成的驱动电容的静电引力作用于所述可动构造部与所述基板之间；

可变电容器部，其使施加RF信号而生成的静电容根据所述可动构造部与所述基板之间的位置关系而变化；和

驱动电压控制电路，其检测根据所述驱动电容的变化而变化的检测电压，并控制对所述驱动电容部施加的DC电压以使该检测电压接近期望值。

2.根据权利要求1所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路具备：用于对所述驱动电容部施加DC电压的直流源、以及用于对所述DC电压叠加电容检测用的AC电压的交流源，

所述驱动电压控制电路基于从流过所述驱动电容部的AC电流变换来的变换电压，来生成所述检测电压。

3.根据权利要求2所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路还具备：已知的电容值的参考电容，

所述驱动电压控制电路基于从流过所述参考电容的AC电流变换来的变换电压和从流过所述驱动电容部的AC电流变换来的变换电压，来生成所述检测电压。

4.根据权利要求3所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路将由所述参考电容以及电阻构成的串联电路、与由所述驱动电容部以及电阻构成的串联电路并联地连接，并基于各串联电路中的连接点的电压差分来生成所述检测电压。

5.根据权利要求3所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路将所述参考电容与所述驱动电容部串联地连接，并基于连接点的电压来生成所述检测电压。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路在所述检测电压中的由所述驱动电容部引起的电压降的量成为最大的定时对所述检测电压进行采样。

7.根据权利要求6所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电压控制电路将所述检测电压的采样值与外部输入电压进行比较，并使由所述直流源输出的DC电压增减。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的可变电容装置，其中，

所述可动构造部由导电性材料构成，在所述驱动电容部连接有信号截止用的电阻。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的可变电容装置，其中，

所述可动构造部由绝缘性材料构成，且在所述可动构造部的表面形成有成为所述驱动电容部或所述可变电容器部的电极。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的可变电容装置，其中，

所述驱动电容部是施加DC电压至电极对的构成，

所述可变电容器部是串联连接多组电极对并施加AC电压至其两端的构成。