[发明专利]掩蔽材料的去除

权利要求书

1.用于去除掩蔽材料的方法，所述方法包括将所述掩蔽材料与包含铈化合物、水、和任选的至少一种其它氧化剂的溶液接触。

2.权利要求1的方法，其中在盐或配位络合物中包含铈。

3.权利要求2的方法，其中所述盐是硝酸铈铵Ce(NH₄)₂(NO₃)₆（CAN）。

4.权利要求2的方法，其中所述盐是以下的至少一种：硝酸铈、硫酸铈铵、硫酸铈、硫酸氢铈、高氯酸铈、甲磺酸铈、三氟甲磺酸铈、氯化铈、氢氧化铈、羧酸铈、β-二酮铈、三氟乙酸铈、和乙酸铈。

5.上述权利要求任一项的方法，其中所述溶液还包含至少一种稳定剂。

6.权利要求5的方法，其中所述至少一种稳定剂包括选自氯化铵、氢氧化铵、硝酸铵、硫酸铵、硫酸氢铵、羧酸铵、β-二酮铵、乙酸铵、高氯酸铵、三氟乙酸铵、甲磺酸铵、和三氟甲磺酸铵的铵盐。

7.权利要求5的方法，其中至少一种稳定剂包括三氟乙酸铵。

8.权利要求7的方法，其中通过将氨与三氟乙酸组合生成三氟乙酸铵。

9.权利要求8的方法，其中氨与三氟乙酸的摩尔比在约0.8:1至约5:1的范围内。

10.上述权利要求任一项的方法，其中溶液包含CAN和氨。

11.权利要求10的方法，其中氨与CAN的摩尔比在约1:1至约2:1的范围内。

12.权利要5的方法，其中至少一种稳定剂包括选自高氯酸、冰醋酸、硝酸、硫酸、甲磺酸、三氟甲磺酸、高碘酸、三氟乙酸、盐酸、和聚苯乙烯磺酸的至少一种酸。

13.上述权利要求任一项的方法，其中所述溶液包含基于溶液总重量约0.01至约70重量%的CAN。

14.上述权利要求任一项的方法，其中所述溶液包含基于溶液总重量约20至约30重量%的CAN。

15.上述权利要求任一项的方法，其中所述溶液包含基于溶液总重量约1至8重量%的CAN。

16.上述权利要求任一项的方法，其包括选自锰、钌、锇、铱、及其组合的至少一种其它氧化剂。

17.上述权利要求任一项的方法，其包括选自RuO₄、OsO₄、KMnO₄、NH₄MnO₄、RuCl₃、OsCl₃、Ru(NO₃)₃、Os(NO₃)₃、Mn(NO₃)₂·xH₂O、MnCO₃、MnSO₄·xH₂O、Mn(C₂H₃O₂)₂·xH₂O、MnCl₂、MnBr₂、及其组合的至少一种其它氧化剂。

18.上述权利要求任一项的方法，其包括至少一种其它氧化剂，所述至少一种其它氧化剂包括Mn(NO₃)₂·xH₂O。

19.上述权利要求任一项的方法，其中当溶液接触掩蔽材料时，溶液的温度在约35和约90摄氏度之间。

20.上述权利要求任一项的方法，其中在将掩蔽材料与溶液接触之前，掩蔽材料已被离子植入以下至少一种：(i)大于约5x10¹⁴离子/平方厘米；和(ii)在离子影响掩蔽材料之前离子的平均能量大于约5000电子伏特（>5KeV）。

21.上述权利要求任一项的方法，其中衬底包含氮化钛。

22.电子器件，其通过将掩蔽材料与包含铈、水、和任选的至少一种其它氧化剂的溶液接触去除掩蔽材料而形成。