[发明专利]线锯

说明书

技术领域

本发明涉及利用切断用锯丝来切断半导体晶锭(ingot)等工件的线锯。

背景技术

以往，作为将半导体晶锭等工件切断为薄片(slice)状的装置已知线锯(wire saw)。该线锯具备多个导轮(guide roller)和对这些导轮进行旋转驱动的马达等，在上述导轮之间卷挂切断用锯丝，从而形成该锯丝排列成多根的锯丝群。在该线锯中，上述锯丝沿其轴方向高速走丝，一边工件向由该锯丝形成的锯丝群以与锯丝轴方向垂直的方向切断送出，从而工件同时被切断为多个晶片(wafer)。

作为此种线锯之一，例如已知有专利文献1所示的结构。此文献中所记载的线锯，包括具备多个导轮的第1工件切断部和第2工件切断部(主滚轮部)、以及一对锯丝送出/卷取装置，从其中一个锯丝送出/卷取装置送出的一根切断用锯丝挂于各工件切断部的导轮之间，并被另一个锯丝送出/卷取装置卷取。据此，在各工件切断部分别形成用于切断工件的锯丝群。

一般来讲，在线锯中重要的是适当地保持切断用锯丝的张力。然而，如上述专利文献1中所记载，在具备两个工件切断部的线锯中，由于其锯丝走丝方向上游侧的工件切断部的切断作业的影响，被导入至该方向下游侧的工件切断部的切断用锯丝的张力会变动。

作为抑制该张力变动的方法，在专利文献1中公开了在两个工件切断部之间检测切断用锯丝的张力的张力检测器、和基于其检测值控制该张力的张力调整机构。该张力调整机构具备用于挂设上述切断用锯丝的一对调节滚轮(dancer roller)、以及在这些调节滚轮之间被按压于上述切断用锯丝而使该切断用锯丝的张力变化的臂(arm)，并且，以适当保持被导入至下游侧的切断用锯丝的张力的方式工作。

然而，在该线锯中，在上述张力检测器检测出的切断用锯丝的张力变动时，张力调整机构才运行，因此难以获得高响应性。

专利文献1：日本专利公开公报特开2000-61805号

发明内容

本发明的目的在于提供一种具备第1工件切断部及第2工件切断部的线锯，能以高响应性(response)适当调整在两个工件切断部之间的切断用锯丝的张力的线锯。本发明所涉及的线锯，包括：锯丝送出装置，送出切断用锯丝；第1工件切断部，具备多个第1导轮和旋转驱动这些第1导轮的第1驱动部，通过从上述锯丝送出装置送出的切断用锯丝卷绕于上述各第1导轮而形成工件切断用的锯丝群；第2工件切断部，具备多个第2导轮和旋转驱动这些第2导轮的第2驱动部，通过从第1工件切断部导出的上述切断用锯丝卷绕于上述各第2导轮而形成工件切断用的锯丝群；锯丝卷取装置，卷取从上述第2工件切断部导出的切断用锯丝；张力检测器，检测在上述第1工件切断部与上述第2工件切断部之间的上述切断用锯丝的张力；以及控制装置，分别调节由上述第1驱动部及上述第2驱动部旋转驱动的上述第1导轮及上述第2导轮的旋转驱动速度。上述控制装置变更上述第1导轮和上述第2导轮中的至少一个的旋转速度，以使上述张力检测器检测的张力在指定范围内。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的线锯的整体结构的概略图。

图2是表示上述线锯所包含的第1工件切断部与第2工件切断部之间的切断用锯丝的张力控制的一例的流程图。

图3是表示被导入至上述线锯的张力变动缓和机构的一例的示意图。

图4(a)是表示与图3所示的张力变动缓和机构不同的张力变动缓和机构的一例的正视图，(b)是其侧视剖面图。

具体实施方式

使用附图说明本发明的具体实施方式。

图1概略地表示本实施方式所涉及的线锯的整体。该线锯包括：上下两段工件切断部1A、1B；一对锯丝送出/卷取装置12A、12B；分别具有滑轮(pulley)16的张力调节装置15A、15B；分别具有滑轮17a、18a、19a的张力检测器17至19；以及导引滑轮21至34等。

上述工件切断部1A包含沿水平方向排列的一对导轮10a、10b和旋转驱动这些导轮10a、10b的马达11A、11B，同样，上述工件切断部1B包含沿水平方向排列的一对导轮10a、10b和旋转驱动这些导轮10a、10b的马达11A、11B。各工件切断部1A、1B的导轮10a、10b的排列方向(在图中为水平方向)相互平行，且两个工件切断部1A、1B排列在与该排列方向垂直的方向(在图中为上下方向)上。