[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种设置有能够以高速转动的转子的真空泵。

背景技术

迄今为止，在涡轮分子泵中，转子传统地具有如下转动体的构造：该转动体包括被轴承（磁轴承或机械轴承）支撑的转子轴和设有叶片的转子；转子和转子轴用螺栓连接，以使它们彼此成一体。伴随连接结构，采用如下装配结构：或者将设置在转子轴侧的接合轴插入到设置在转子侧的接合孔中，或者将设置在转子侧的接合轴插入到设置在转子轴侧的接合孔中。通常，涡轮分子泵中的装配结构采用“过盈配合”，在该涡轮分子泵中，转子和转子轴以高速转动，因而该涡轮分子泵要求严格的平衡（见专利文献1第40段）。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]日本特开2007-239464号公报

发明内容

发明要解决的问题

在泵的操作过程中，“过盈配合”使得装配部很少松动。然而，在连接时需要加热接合孔侧并且冷却接合轴侧。因此，装配操作需要花费相当多的时间。

涡轮分子泵经受转子叶片和转子主体的镀层剥离或劣化，使得必须以预定频率修理或更换转子。然而，在“过盈配合”的情况下，为了拆卸已经被连接的组件，必须利用压力将装配部冲开（punch off）。因此，将接合轴从接合孔取出是费力的，因而要花费大量时间用于修理/更换操作。

用于解决问题的方案

根据本发明的第1方面，转子轴，其以能够转动的方式被轴承支撑并且由电机驱动从而能够以高速转动；转子，其被连接于所述转子轴的轴向上的一个端部并且设置有抽真空功能部；接合部，其被设置在所述转子轴和所述转子的连接部，所述接合部包括：接合孔，其形成于所述转子轴和所述转子中的一方；接合轴，其形成于所述转子轴和所述转子中的另一方，所述接合轴能够插入到所述接合孔；以及填充构件，其设置在所述转子和所述转子轴之间的间隙中，所述填充构件的剪切强度比所述转子的剪切强度和所述转子轴的剪切强度都低。

根据本发明的第2方面，在根据第1方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件包括粘合剂，所述粘合剂使所述接合孔的内周面和所述接合轴的外周面接合。

根据本发明的第3方面，在根据第2方面的真空泵中，优选的是，用于保持粘合剂的槽形成于所述接合孔和所述接合轴中的至少一方，所述槽以凹入的方式形成于所述接合孔的内周面或所述接合轴的外周面。

根据本发明的第4方面，在根据第3方面的真空泵中，优选的是，所述转子轴设置有所述接合轴并且所述转子设置有所述接合孔，以及用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合轴。

根据本发明的第5方面，在根据第3方面的真空泵中，优选的是，所述转子轴设置有所述接合孔，所述转子设置有所述接合轴，用于保持粘合剂的所述槽设置于所述转子轴的所述接合孔。

根据本发明的第6方面，在根据第3至5方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

根据本发明的第7方面，在根据第3至6方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，多个用于保持粘合剂的所述槽在所述接合孔的周向上沿着所述接合孔的内周面环状地设置，或者在所述接合轴的周向上沿着所述接合轴的外周面环状地设置。

根据本发明的第8方面，在根据第3至7方面中的任一方面的真空泵，优选的是，用于保持粘合剂的所述槽设置于所述接合孔的内周面以及所述接合轴的外周面两者。

根据本发明的第9方面，在根据第2至8方面中的任一方面的真空泵，优选的是，用于接收所述粘合剂的逃逸部设置于所述接合轴的根部。

根据本发明的第10方面，在根据第1方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件包括环状薄板。

根据本发明的第11方面，在根据第1至10方面中的任一方面的真空泵中，优选的是，所述填充构件的剪切强度为所述转子的剪切强度的1/5以下。

本发明的有益效果

根据本发明，将转子轴装配于转子变得容易，使得可以高效地完成真空泵的装配。此外，在设置有转子叶片的转子以高速转动的真空泵中，可以防止接合轴和接合孔之间的接合由于高速转动而松动，同时改善将转子轴从转子拆卸的可操作性。

附图说明

[图1]涡轮分子泵的泵体1的截面图，其示出根据本发明的实施方式1。