[发明专利]混合气体供给装置有效

专利信息
申请号: 201080064420.6 申请日: 2010-10-22
公开(公告)号: CN102934202A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 永濑正明;土肥亮介;西野功二;池田信一 申请(专利权)人: 株式会社富士金
主分类号: H01L21/205 分类号: H01L21/205;B01J4/00;C23C16/455;F17D1/04
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 朱美红;杨楷
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 混合气体 供给 装置
【权利要求书】:

1.一种混合气体供给装置,是将由流量控制装置和出口侧切换阀构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀的气体出口向歧管连接、并且将距歧管的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用的混合气体供给装置,其特征在于,经由上述流量控制装置的出口侧连结配件及具有气体通路的安装台将流量控制装置的出口侧与出口侧切换阀的入口侧气密地连结,在上述出口侧连结配件的流路的一部分及或将上述出口侧切换阀与歧管的混合气体流通孔连通的流路中设置小孔部,能够实现其他气体向出口侧切换阀的上游侧或流量控制装置的上游侧的逆扩散的防止、和连结在歧管的混合气体出口上的过程腔室的高速气体置换。

2.如权利要求1所述的混合气体供给装置,其特征在于,使流量控制装置为流量范围可变型压力式流量控制装置,并且将上述出口侧连结配件的流路通过大径的水平方向通路、小径的水平方向通路、和将它们等连通的小径的垂直方向通路形成,在小径的垂直方向通路的一部分中设置上述小孔部。

3.如权利要求2所述的混合气体供给装置,其特征在于,使流量控制装置为流量范围可变型压力式流量控制装置,并且将上述出口侧连结配件的流路通过大径的水平方向通路、小径的水平方向通路、和将它们等连通的大径的垂直方向通路形成,在小径的水平方向通路的一部分中设置上述小孔。

4.如权利要求1~3中任一项所述的混合气体供给装置,其特征在于,使连结在混合气体出口上的过程腔室为带有喷淋板的过程腔室。

5.如权利要求1~3中任一项所述的混合气体供给装置,其特征在于,使出口侧切换阀为使金属隔膜制阀体相对于阀座接触分离的气压动作型阀。

6.一种混合气体供给装置,是将由流量控制装置和出口侧切换阀(VO)构成的多个气体供给线以并列状配设、将各出口侧切换阀(VO)的气体出口向歧管连接、并且将距歧管的混合气体出口较近的位置的气体供给线作为小流量用气体的供给用的混合气体供给装置,其特征在于,经由上述流量控制装置的出口侧连结配件及具有气体通路的安装台将小流量气体供给线的流量控制装置的出口侧与出口侧切换阀(VO)的入口侧气密地连结,并且在该出口侧切换阀(VO)的气体出口侧通路的出口侧端部与连通到歧管的混合气体流通路的气体通路的入口侧端部之间设置逆扩散防止用节流孔而将上述出口侧切换阀(VO)的气体出口侧通路与歧管气密地连结,能够实现其他气体向出口侧切换阀(VO)的上游侧的逆扩散的防止、和连结在歧管的混合气体出口上的过程腔室的高速气体置换。

7.如权利要求6所述的混合气体供给装置,其特征在于,使流量控制装置为具备大流量用节流孔(OL1)和小流量用节流孔(OL2)的流量范围可变型压力式流量控制装置,并且使流量控制装置的流量控制范围为3SCCM~2000SCCM、使节流孔的内径为0.6mmφ。

8.如权利要求6或7所述的混合气体供给装置,其特征在于,使节流孔为垫片型节流孔。

9.如权利要求6~8中任一项所述的混合气体供给装置,其特征在于,使连结在混合气体出口上的过程腔室为带有喷淋板(SP)的过程腔室。

10.如权利要求6~9中任一项所述的混合气体供给装置,其特征在于,使出口侧切换阀(VO)为使金属隔膜制阀体相对于阀座接触分离的气压动作型阀。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社富士金,未经株式会社富士金许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201080064420.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top