[发明专利]操作手自动示教和位置校正系统

权利要求书

1.一种衬底处理系统，其包括：

壳体，用于安置处理装置的至少一部分；

固定到所述处理装置上的至少一个目标，所述处理装置具有与所述至少一个目标有已知关系的第一处理装置参考点；

至少一个发射器，其位于所述壳体内并且被配置成向所述至少一个目标传送标识所述至少一个发射器的标识信号；以及

控制器，其可操作地连接到所述至少一个目标和所述至少一个发射器，所述控制器被配置成基于所述标识信号从所述至少一个目标和所述至少一个发射器中的一个接收数据信号并且基于所述数据信号来控制所述处理装置的操作特性。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器还被配置成：

基于所述标识信号来确定所述至少一个目标相对于所述至少一个发射器的定位，所述标识信号唯一地标识所述至少一个发射器中的每一个；以及

根据由所述至少一个发射器向与所述处理装置参考点关联的至少一个目标传送的标识信号来确定所述第一处理装置参考点的位置。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述壳体包括第一壳体和连接到所述第一壳体的第二壳体，其中所述处理装置位于所述第一壳体内，并且第二处理装置参考点位于所述第一壳体或所述第二壳体内，所述处理装置基于所述第一与第二处理装置参考点之间的关系被控制。

4.如权利要求3所述的系统，其中：

所述处理装置是机器人操作手；

所述操作特性是所述第一处理装置参考点的位置；

所述第二处理装置参考点是台架模块参考点；并且

所述控制器还被配置成：

根据所述第一处理装置参考点与所述台架模块参考点之间的相对位置来命令所述机器人操作手的移动，使得所述第一处理装置参考点处于所述台架模块参考点的预定距离内；

其中当所述第一处理装置参考点处于所述预定距离内时，所述控制器被配置成将所述机器人操作手的定位指配给所述台架参考点用于取和放操作。

5.如权利要求3所述的系统，其中：

所述处理装置是机器人操作手或台架模块；

所述操作特性是所述处理装置的校平平面；

所述第二处理装置参考点是与所述衬底处理系统关联的参考平面；并且

所述控制器还被配置成：

确定所述校平平面的位置；

确定所述参考平面的位置与所述校平平面的位置之间的偏差；以及

如果所述偏差超过预定极限，则实现所述校平平面的调整。

6.如权利要求3所述的系统，其还包括：

所述衬底处理系统的公共参考特征；

其中所述处理装置是机器人操作手或台架模块；

所述操作特性是所述第一处理装置参考点的定位；并且

所述控制器还被配置成：

确定所述第一处理装置参考点相对于所述公共参考特征的定位；

确定用于所述处理装置的调整量；以及

实现所述处理装置的定位的调整，使得所述第一处理装置参考点处于相对于所述公共参考特征的预定距离内。

7.如权利要求1所述的系统，其还包括：

连接到所述壳体的台架模块，所述台架模块具有第二处理装置参考点；

其中，

所述处理装置是机器人操作手；

所述操作特性是所述第一处理装置参考点的定位，其中所述第一处理装置参考点位于所述机器人操作手的末端执行器上；并且

其中在取或放操作期间，所述控制器还被配置成：

实现所述机器人操作手的移动，因此所述第一处理装置参考点被移动到所述第二处理装置参考点的定位；

确定所述第一处理装置参考点与所述第二处理装置参考点的定位之间的差；以及

如果所述差超过预定距离，则实现所述机器人操作手的校正移动，因此所述第一处理装置参考点的定位处于所述预定距离内。

8.一种方法，其包括：

采用至少一个固定发射器来确定台架模块参考点的定位，其中所述至少一个固定发射器向台架模块的至少一个目标传送唯一标识所述至少一个固定发射器的标识信号；

采用所述至少一个固定发射器来确定传输设备参考点的定位，其中所述至少一个固定发射器向所述传输设备的至少一个目标传送标识所述至少一个发射器的标识信号；以及

将所述传输设备参考点的定位指配给所述台架参考点用于取和放操作。