[发明专利]工作台装置

权利要求书

1.一种工作台装置，该工作台装置具有：

可动台，其用于保持样本；

悬浮单元，其包括悬浮单元可动部和悬浮单元固定部，用于使上述可动台至少在铅直方向上动作；以及

直线电动机，其包括配置于上述可动台的内侧的直线电动机可动部、和配置于上述可动台的内侧的直线电动机固定部，用于使上述可动台在水平面内的第1水平方向上动作。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，

上述可动台的内部设有电动机设置空间，

上述直线电动机可动部与上述直线电动机固定部以沿上述第1水平方向延伸的方式配置在上述可动台的内部的上述电动机设置空间内。

3.根据权利要求2所述的工作台装置，其中，

多个包括上述直线电动机可动部和上述直线电动机固定部的上述直线电动机以包围上述可动台的重心的方式配置在上述可动台的内部的电动机设置空间内。

4.根据权利要求3所述的工作台装置，其中，

上述可动台具有通过上述可动台的重心并在水平方向上延伸的水平分隔部、和通过上述可动台的重心并在铅直方向上延伸的铅直分隔部，

上述可动台的电动机设置空间被上述水平分隔部和上述铅直分隔部分割为4个空间，

包括上述直线电动机可动部和上述直线电动机固定部的上述直线电动机以包围上述可动台的重心的方式分别配置于上述4个空间。

5.根据权利要求4所述的工作台装置，其中，

包括上述直线电动机可动部和上述直线电动机固定部的上述直线电动机以包围上述可动台的重心、且成为以上述可动台的重心为中心的中心对称的方式分别配置于上述4个空间。

6.根据权利要求4所述的工作台装置，其中，

上述直线电动机可动部包括：以隔着上述铅直分隔部的方式设置于上述可动台的上述水平分隔部的上表面的第1直线电动机可动部和第2直线电动机可动部、和以隔着上述铅直分隔部的方式设置于上述可动台的水平分隔部的下表面的第3直线电动机可动部和第4直线电动机可动部，

上述直线电动机固定部包括：配置为分别在铅直方向上与上述第1直线电动机可动部以及上述第2直线电动机可动部相对的第1直线电动机固定部以及第2直线电动机固定部、和配置为分别在铅直方向上与上述第3直线电动机可动部以及上述第4直线电动机可动部相对的第3直线电动机固定部以及第4直线电动机固定部。

7.根据权利要求6所述的工作台装置，其中，

上述可动台还包括以包围上述水平分隔部的外缘部和上述铅直分隔部的外缘部的方式设置的框状部，

被上述框状部包围的空间构成上述电动机设置空间，并且被上述水平分隔部和上述铅直分隔部分割为4个栅格状的空间，

上述直线电动机可动部还包括：以隔着上述铅直分隔部的方式设置于上述框状部的内部下表面、且配置为分别在铅直方向上与上述第1直线电动机固定部以及上述第2直线电动机固定部相对的第5直线电动机可动部以及第6直线电动机可动部、和以隔着上述铅直分隔部的方式设置于上述框状部的内部上表面、且配置为分别在铅直方向上与上述第3直线电动机固定部以及上述第4直线电动机固定部相对的第7直线电动机可动部以及第8直线电动机可动部，

上述第1直线电动机固定部、上述第1直线电动机可动部和上述第5直线电动机可动部构成第1直线电动机，上述第2直线电动机固定部、上述第2直线电动机可动部和上述第6直线电动机可动部构成第2直线电动机，上述第3直线电动机固定部、上述第3直线电动机可动部和第7直线电动机可动部构成第3直线电动机，上述第4直线电动机固定部、上述第4直线电动机可动部和第8直线电动机可动部构成第4直线电动机。

8.根据权利要求4所述的工作台装置，其中，

上述可动台还包括以包围上述水平分隔部的外缘部和上述铅直分隔部的外缘部的方式设置的框状部，

上述框状部包括与上述水平分隔部平行且位于上侧的上侧框架、与上述水平分隔部平行且位于下侧的下侧框架，

上述上侧框架和上述下侧框架中的至少一方在上述第1水平方向上具有比上述水平分隔部短的长度。

9.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，

上述直线电动机固定部配置为贯穿上述可动台，在上述第1水平方向上延伸至上述可动台的外侧，

该工作台装置还具有在上述可动台的外侧支承上述直线电动机固定部的固定部支承部件。