[发明专利]微粒组成分析方法及微粒组成分析装置

权利要求书

1.一种微粒组成分析方法，其特征在于，

在使气体试样中的微粒的粒子束聚焦，并将该粒子束照射到捕捉体的狭小的区域而使所述捕捉体捕捉到所述微粒之后，对所述狭小的区域集中照射能量线来使由所述捕捉体捕捉到的微粒汽化、升华或反应以生成脱离成分，从而来对所述脱离成分进行分析，其中所述捕捉体具有用于将剩余的气相成分去除并捕捉所述粒子束中的微粒的网状结构体。

2.如权利要求1所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

根据构成所述微粒的成分的能量吸收特性来选择并控制所述能量线。

3.如权利要求1或2所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

所述狭小的区域的直径为1mm～3mm。

4.如权利要求1至3中任一项所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

所述网状结构体由具有催化剂作用的贵金属构成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

所述网状结构体采用以下结构：在被所述粒子束照射的正面侧配置规定空隙率的第一网状结构体，并在与该第一网状结构体相连的被所述粒子束照射的相反面侧配置空隙率比所述第一网状结构体的空隙率小的第二网状结构体。

6.如权利要求1至4中任一项所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

所述网状结构体采用以下结构：在被所述粒子束照射的正面侧配置规定空隙率的网状结构体，并在与该网状结构体相连的被所述粒子束照射的相反面侧配置没有空隙的板体。

7.如权利要求1至6中任一项所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

当利用捕捉体捕捉所述微粒时，将所述捕捉体的温度控制成能够降低由所述捕捉体捕捉到的微粒中的挥发性较高的成分蒸发的温度。

8.如权利要求1至7中任一项所述的微粒组成分析方法，其特征在于，

使用催化剂将所述脱离成分转换为其它物质，并对转换得到的所述物质进行分析。

9.一种微粒组成分析装置，其特征在于，包括：

减压室，该减压室内被减压，以在该减压室内生成规定的气流；

粒子束生成器，该粒子束生成器的一端配置于所述减压室外，另一端配置于所述减压室内，所述粒子束生成器通过所述减压室的减压吸入外部气体以将所述外部气体中的微粒的粒子束照射到所述减压室内；

捕捉体，该捕捉体配置于所述减压室内的被所述粒子束照射的位置，并具有用于捕捉所述粒子束中的微粒的网状结构体；

能量线供给器，该能量线供给器对所述捕捉体照射能量线，来使由所述捕捉体捕捉到的微粒汽化、升华或反应以生成脱离成分；

捕捉体保持容器，该捕捉体保持容器设有所述粒子束的入射口和供所述能量线射入的光学窗，并在内部配置有所述捕捉体，所述捕捉体保持容器配置成使去除了剩余的气相成分后的所述粒子束从所述入射口照射到所述捕捉体；

导管，该导管与所述捕捉体保持容器连接；以及

分析器，该分析器经由所述导管接收所述捕捉体保持容器内的所述脱离成分，并对所述脱离成分进行分析。

10.如权利要求9所述的微粒组成分析装置，其特征在于，

在所述减压室中设有第一间壁，该第一间壁将配置有所述粒子束生成器的第一空间和配置有所述捕捉体保持容器的第二空间分隔开，

在所述第一间壁上设有所述粒子束的通过口，并将所述粒子束的通过口和所述捕捉体保持容器的所述粒子束入射口分别设为分离器结构，从而能将所述第一空间和所述第二空间减压，以使所述第二空间的气压比所述第一空间的气压低。

11.如权利要求9或10所述的微粒组成分析装置，其特征在于，

所述网状结构体由具有催化剂作用的贵金属构成。

12.如权利要求9至11中任一项所述的微粒组成分析装置，其特征在于，

所述网状结构体采用以下结构：在被所述粒子束照射的正面侧配置规定空隙率的第一网状结构体，并在与该第一网状结构体相连的被所述粒子束照射的相反面侧配置空隙率比所述第一网状结构体的空隙率小的第二网状结构体。