[发明专利]控制了掺杂元素量的析出物质的制造方法有效

专利信息
申请号: 201080066979.2 申请日: 2010-05-25
公开(公告)号: CN102905783A 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 榎村真一 申请(专利权)人: M技术株式会社
主分类号: B01J19/00 分类号: B01J19/00;B01D9/02;C01F5/14;C01G5/00;C01G9/02
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 贾成功
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 控制 掺杂 元素 析出 物质 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种析出方法,其为以下的析出物质的制造方法:

使用至少2种流体作为被处理流动体,

其中至少1种流体为将被析出物质在溶剂中溶解了的原料溶液,

在上述以外的流体中至少1种流体为用于使上述被析出物质析出的至少1种析出用溶剂,

至少1种掺杂元素或含掺杂元素物质在上述原料溶液的溶剂、上述析出用溶剂、上述原料溶液及上述析出用溶剂以外的另外其他的至少1种溶剂的至少任一的溶剂中溶解,

混合上述的2种或3种以上的被处理流动体,控制掺杂元素量;

其特征在于,

通过控制掺杂元素或含掺杂元素物质对于上述析出用溶剂的溶解度,控制上述被析出物质中含有的掺杂元素量,

在对向配设的、可接近·分离的、至少一方相对于另一方相对地进行旋转的至少2个处理用面之间形成的薄膜流体中混合上述被处理流动体,使控制了掺杂元素量的被析出物质析出。

2.如权利要求1所述的析出方法,其特征在于,上述被析出物质为至少1种金属或者金属化合物,

上述析出用溶剂为用于使上述至少1种金属或者金属化合物析出的析出用溶剂。

3.如权利要求1所述的析出方法,其特征在于,含有上述原料溶液的流体与含有上述析出用溶剂的流体中任一方一边形成上述薄膜流体一边通过上述两处理用面间,具备与上述任一方的流体流过的流路独立的另外的导入路,

上述至少2个处理用面的至少任一者具备至少一个与上述的导入路相通的开口部,

含有上述原料溶液的流体与含有上述析出用溶剂的流体中任意的另一方从上述开口部导入上述处理用面之间,

含有上述原料溶液的流体与含有上述析出用溶剂的流体在上述薄膜流体内混合。

4.如权利要求1所述的析出方法,其特征在于,

使用第1、第2、第3的至少3种的流体作为被处理流动体,

上述第1流体为含有上述原料溶液的流体,

上述第2流体为将上述至少1种掺杂元素或含掺杂元素物质在溶剂中溶解了的含掺杂元素物质溶液,

上述第3流体为含有上述析出用溶剂的流体,

上述3种流体中任1种的流体一边形成上述薄膜流体一边通过上述两处理用面间,

具备至少2个与上述任一方的流体流过的流路独立的另外的导入路,

该至少2个另外的导入路相互独立,

上述至少2个处理用面的至少任一者具备各自与上述至少2个另外的导入路的每个相通的开口部,

将上述3种流体中剩余的2种流体从上述各自的开口部导入上述处理用面之间,

上述3种流体在上述薄膜流体内混合。

5.如权利要求4所述的析出方法,其特征在于,

上述第1流体和上述第3流体为不含有掺杂元素或不含有含掺杂元素物质的溶液。

6.如权利要求1上述的析出方法,其特征在于,

上述析出用溶剂为多种溶剂的混合溶剂,

上述混合溶剂中的至少1种溶剂为可以溶解上述被析出物质及上述掺杂元素或含掺杂元素物质的溶剂,

上述混合溶剂中的至少其他的1种溶剂为可以溶解上述被析出物质、且上述掺杂元素或含掺杂元素物质的溶解度比上述混合溶剂中的上述1种溶剂还小的溶剂,

通过控制上述混合溶剂中的上述1种溶剂和上述其他的1种溶剂的混合比率,控制上述被析出物质中含有的掺杂元素量。

7.如权利要求1所述的析出方法,其特征在于,通过控制上述被处理流动体的温度,控制上述被析出物质中含有的掺杂元素量。

8.如权利要求1所述的析出方法,其特征在于,通过高地设定上述析出用溶剂对于上述掺杂元素或含掺杂元素物质的溶解度,使实质上不含有上述掺杂元素的被析出物质析出,

上述被高地设定了的溶解度,与使实质上含有上述掺杂元素的被析出物质析出的情况下的溶解度相比,为高溶解度。

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