[发明专利]加速度计

权利要求书

1.一种加速度计110，包括：

支撑结构104，其具有位于其上面的包括定子电极A、定子电极B和定子电极C的定子电极阵列106；

检验质量102，其与定子电极阵列平行地定位并能够实现在平行于定子电极阵列的方向上的位移，并且具有位于其上面的面对定子电极阵列且包括转换器电极a和转换器电极b的转换器电极阵列108，其中，所述定子电极和所述转换器电极形成电容C_aA、C_bA、C_aB、C_bB 、C_aC以及C_bC；以及

驱动电路114，其用以向所述电容施加多个驱动电压，从而生成两个输出信号116，其中，由驱动电压施加于检验质量上的合力保持恒定为约零。

2.权利要求1的加速度计，其中，所述驱动电路向电容C_aA和C_bA施加驱动电压V_A、向电容C_aB和C_bB施加驱动电压V_B并向电容C_aC和C_bC施加驱动电压V_C，使得

其中

并且其中，x是检验质量相对于支撑结构的位移。

3.权利要求1或2的加速度计，其中，所述驱动电路向所述电容施加驱动电压，使得这两个输出信号之间的电压差在检验质量的位移为零时恒定为约零。

4.权利要求1或2的加速度计，其中，所述驱动电路施加驱动电压，从而使δV_o/δx最大化，其中，V_o是两个输出信号之间的电压差，并且其中，x是检验质量相对于支撑结构的位移。

5.权利要求1的加速度计，其中，指定了定子电极阵列的节距与转换器电极阵列的节距的比，使得这两个输出信号中的每一个是正弦的。

6.权利要求1的加速度计，其中，指定了定子电极阵列的节距与定子电极阵列和转换器电极阵列之间的距离的比，使得这两个输出信号的最大值和最小值跨检验质量的位移范围均匀分布。

7.权利要求1至6中的任一项所述的加速度计，其中，所述驱动电压是正弦波。

8.权利要求1至6中的任一项所述的加速度计，其中，所述驱动电压是方波。

9.权利要求1的加速度计，其中，所述驱动电路包括驱动控制器118以控制驱动电压的振幅。

10.一种加速度计110，包括：

支撑结构104，其具有位于其上面的多个定子电极110；

检验质量102，其与支撑结构平行地定位并具有位于其上面的面对定子电极的多个转换器电极112，其中，所述定子电极和所述转换器电极形成多个电容；

驱动电路114，其用以向所述电容施加多个驱动电压，从而产生两个输出信号116；以及

驱动控制器118，其控制驱动电压的振幅，使得由驱动电压施加于检验质量上的合力保持恒定为约零且输出增益被最大化。

11.权利要求10的加速度计，其中，所述驱动电路向电容施加驱动电压，使得这两个输出信号之间的电压差在检验质量的位移为零时恒定为约零。

12.权利要求10的加速度计，其中，所述输出增益是δV_o/δx，其中，V_o是两个输出信号之间的电压差，并且其中，x是检验质量相对于支撑结构的位移。

13.一种使用电容性加速度计来检测加速度的方法，包括向位于加速度计中的检验质量上的电极施加驱动电压，从而产生随检验质量的位移而变的输出信号，其中，驱动电压的振幅被指定为消除由驱动电压施加于检验质量的力，并且其中，输出信号的增益被最大化。

14.权利要求13的方法，其中，所述驱动电压被施加于电极，从而产生两个输出信号，使得这两个输出信号之间的电压差在检验质量的位移为零时恒定为约零。

15.权利要求13的方法，其中，所述驱动电压是正弦波或方波。