[发明专利]具有循环泵的流体喷射组件

权利要求书

1. 一种流体喷射组件，包括：

形成在第一衬底中的流体槽；

通道，其形成在布置于第二衬底顶上的腔室层中，其中，所述第二衬底的底表面附接到所述第一衬底的顶表面；

形成在所述流体槽和所述通道之间的流体馈送孔；

在所述通道的第一端处的流体喷射元件；以及

在所述通道的第二端处的泵送元件，以使流体水平地循环通过所述通道并且竖直地循环通过所述流体馈送孔。

2. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括：

邻近所述流体喷射元件的第一流体馈送孔；以及

邻近所述泵送元件的第二流体馈送孔。

3. 根据权利要求2所述的流体喷射组件，其中，所述第一流体馈送孔处于所述流体喷射元件和所述通道的第一端之间。

4. 根据权利要求2所述的流体喷射组件，其中，所述第二流体馈送孔在所述泵送元件和所述通道的第二端之间。

5. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括：

邻近所述流体喷射元件以及处于所述流体喷射元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及

邻近所述泵送元件的第三馈送孔。

6. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括：

邻近所述泵送元件以及处于所述泵送元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及

邻近所述流体喷射元件的第三馈送孔。

7. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述流体馈送孔包括：

邻近所述流体喷射元件以及处于所述流体喷射元件任一侧上的第一流体馈送孔和第二流体馈送孔；以及

邻近所述泵送元件以及处于所述泵送元件任一侧上的第三馈送孔和第四馈送孔。

8. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述通道是u形的。

9. 根据权利要求1所述的流体喷射组件，其中，所述通道相对于所述流体槽的长度对角地定向。

10. 一种流体喷射组件，包括：

第一衬底和第二衬底，所述第一衬底的顶表面结合到所述第二衬底的底表面；

形成在所述第一衬底中的流体槽；

腔室层，其具有被布置在所述第二衬底的顶表面上的通道；

流体馈送孔，其被形成为穿过所述第二衬底，以提供所述流体槽和所述通道之间的流体连通；

布置在所述通道中的喷射元件；以及

布置在所述通道中的泵送元件，以提供通过所述泵送元件和所述喷射元件之间的所述通道的水平流体循环以及通过所述通道和流体槽之间的所述流体馈送孔的竖直流体循环。

11. 根据权利要求10所述的流体喷射组件，其中，所述通道包括在第一端处相交的多个通道，并且其中，所述泵送元件被布置在所述通道的交叉点处，并且喷射元件被布置在每个通道的第二端处，所述泵送元件提供了通过所述泵送元件与每个喷射元件之间的所述通道的水平流体循环以及通过所述通道与流体槽之间的所述流体馈送孔的竖直流体循环。

12. 根据权利要求10所述的流体喷射组件，其中，所述泵送元件相对于所述通道的中心点被不对称地放置。

13. 一种在流体喷射组件中循环流体的方法，包括：

水平地泵送流体使其通过泵送元件和喷射元件之间的流体通道；以及

在所述流体通道和流体槽之间竖直地泵送流体使其通过在所述流体通道和所述流体槽之间延伸的流体馈送孔。

14. 根据权利要求13所述的方法，其中，所述泵送包括：启动所述泵送元件，以推动流体通过所述流体通道和流体馈送孔。

15. 根据权利要求13所述的方法，其中，所述泵送包括：启动所述喷射元件，以通过喷嘴喷射流体并且推动流体通过所述流体通道和流体馈送孔。