[发明专利]用于减少楔形误差的装置和方法

权利要求书

1. 一种用于相对而置地对准第一衬底(2)的第一表面(2o)与第二衬底(5)的第二表面(5o)的装置，其中在所述第一表面(2o)和所述第二表面(5o)之间具有间隔，具有以下特征:

－ 第一容纳器具(1)以用于在第一容纳面(la)上容纳所述第一衬底(2)，

－ 第二容纳器具(6)以用于在第二容纳面(6a)上容纳所述第二衬底(5)，

－ 接近器件以用于在平移方向(T)上使所述第一表面(2a)接近所述第二表面(5a)直到到达最终位置中，其特征在于，

设置有用于在所述第一表面(2o)接近所述第二表面(5o)期间减少所述第一表面(2o)和所述第二表面(5o)之间的楔形误差的器件。

2. 根据权利要求1所述的装置，其特征在于，用于减少楔形误差的所述器件可在接近期间尤其直到到达最终位置连续地尤其没有中断地被使用。

3. 根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，在所述第一表面(2o)和/或所述第二表面(5o)上设置有模压结构(3)以用于模压在所述第一表面(2o)与所述第二表面(5o)之间的模压材料(4)。

4. 根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述用于接近的器件构造成引起所述第一容纳器具(1)和所述第二容纳器具(6)横向于所述容纳面(la,6a)在平移方向(T)上的平移运动。

5. 根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，用于减少楔形误差的所述器件包括尤其利用光谱方法工作的测量器件以用于在所述第一表面(2o)接近所述第二表面(5o)期间测量在所述第一衬底和所述第二衬底中的角位置。

6. 根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述测量器件具有多个、尤其至少三个、尤其在所述第一容纳器具(1)和/或所述第二容纳器具(6)中相应构建于所述第一容纳面(1a)和/或所述第二容纳面(6a)之下的传感器(8)，以用于测量所述第一表面(2o)和所述第二表面(5o)在平移方向(T)上到相应的传感器(8)的间隔以及尤其测量所述第一衬底(2)的背对所述第一表面(2o)的第一支承面(2a)与所述第二衬底(5)的背对所述第二表面(5o)的第二支承面(5a)的间隔。

7. 根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，用于减少楔形误差的所述器件包括驱动器件以用于改变所述第一衬底(2)相对于所述第二衬底(5)的角位置，尤其所述第一表面(2o)相对于所述第二表面(5o)的角位置，其中，所述驱动器件布置在所述第一容纳器具(1)和/或所述第二容纳器具(6)处。

8. 根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，用于减少楔形误差的所述器件包括主动的控制器具以用于控制楔形误差的减少，尤其用于获取所述测量器件的测量值和用于对应地操控所述驱动器件。

9. 一种用于相对而置地对准第一衬底的第一表面与第二衬底的第二表面的方法，其中在所述第一表面和所述第二表面之间具有间隔，其特征在于，在所述第一表面接近所述第二表面期间减少在所述第一表面与所述第二表面之间的楔形误差。