[发明专利]在半导体测试环境中使用虚拟仪器的系统、方法和设备

权利要求书

1.一种半导体测试控制系统，包括：

具有多个硬件资源的计算机系统；

安装在所述计算机系统上的监管器，所述监管器对所述硬件资源进行虚拟化并且向至少一个虚拟仪器中的每一个虚拟仪器提供对硬件资源的相应虚拟集合的访问，所述硬件资源的每个虚拟集合使相应虚拟仪器控制与所述半导体测试系统的至少第一方面的通信，从而使得相应虚拟仪器能够测试相应类型的半导体装置；以及

安装在所述计算机系统上的测试台控制器，所述测试台控制器控制与i）所述半导体测试系统的至少第二方面以及ii）所述至少一个虚拟仪器中的每一个的通信。

2.如权利要求1所述的半导体测试控制系统，其中，所述计算机系统的硬件资源的特定虚拟集合在特定虚拟仪器与该特定虚拟仪器的用户之间提供虚拟用户接口。

3.如权利要求1所述的半导体测试控制系统，其中，所述监管器向所述测试台控制器提供对所述计算机系统的硬件资源的相应虚拟集合的访问，并且其中，提供给所述测试台控制器的硬件资源的虚拟集合使所述测试台控制器控制与所述半导体测试系统的至少第二方面的通信。

4.如权利要求3所述的半导体测试控制系统，其中，提供给所述测试台控制器的硬件资源的虚拟集合在所述测试台控制器与所述测试台控制器的用户之间提供虚拟用户接口。

5.如权利要求4所述的半导体测试控制系统，其中，所述计算机系统的硬件资源的特定虚拟集合在特定虚拟仪器与该特定虚拟仪器的用户之间提供虚拟用户接口。

6.如权利要求1所述的半导体测试控制系统，还包括安装在所述计算机系统上的虚拟仪器，该虚拟仪器提供用于测试半导体装置的测试程序。

7.如权利要求6所述的半导体测试控制系统，其中，所述虚拟仪器包括关联引擎，该关联引擎被配置为：监视所述测试程序的执行环境，以及响应于该监视，调整所述执行环境的执行参数。

8.如权利要求7所述的半导体测试控制系统，其中，所述执行参数是测试程序执行速度。

9.如权利要求1所述的半导体测试控制系统，其中：

所述测试台控制器被配置为控制与多个虚拟仪器的通信；并且

所述测试台控制器被配置为同时操作所述多个虚拟仪器，所述同时操作使得各个类型的半导体装置被并行测试。

10.如权利要求1所述的半导体测试控制系统，还包括安装在所述计算机系统上的多个虚拟仪器，其中：

所述虚拟仪器中的每一个提供用于测试相应类型的半导体装置的相应测试程序；

所述计算机系统的硬件资源的每个虚拟集合使其相应虚拟仪器控制与所述半导体系统的共享测试器的相应资源集合的通信；并且

所述测试台控制器被配置为同时操作所述多个虚拟仪器，所述同时操作使得各个类型的半导体装置被所述共享测试器并行测试。

11.如权利要求10所述的半导体测试控制系统，其中：

所述虚拟仪器中的第一虚拟仪器提供生产测试程序；

所述虚拟仪器中的第二虚拟仪器提供非生产测试程序；并且

所述测试台控制器被配置为向所述虚拟仪器中的第一虚拟仪器赋予操作优先级。

12.如权利要求10所述的半导体控制系统，其中，对所述多个虚拟仪器的所述同时操作使得各个半导体装置在单个晶片上被并行测试。

13.如权利要求10所述的半导体控制系统，其中，对所述多个虚拟仪器的所述同时操作使得各个半导体装置在共享负载板上被并行测试。

14.如权利要求1所述的半导体控制系统，其中，所述半导体测试系统包括多管脚测试器，并且其中，所述测试台控制器提供所述计算机系统的硬件资源的虚拟集合向所述多管脚测试器的测试管脚的映射。

15.如权利要求1所述的半导体控制系统，其中，所述半导体测试系统的至少第一方面包括自动化测试设备（ATE）系统的方面，并且所述半导体测试系统的至少第二方面包括探测器/处理机的方面。

16.如权利要求1所述的半导体控制系统，其中，所述计算机系统包括服务器机群。