[发明专利]基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器

权利要求书

1.一种基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，它包括壳体（1），在所述的壳体（1）上设置有气体扩散毛细管（7），其特征是所述的气体扩散毛细管（7）是通过用化学腐蚀法将预埋在壳体中的直径为0.02-0.3mm、长度为0.2-6mm金属丝溶解后形成的。

2.根据权利要求1所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的金属丝为铜、锌、铝、铁、铅、锡、铋、银、镍或铬丝中的一种，也可为含铜、锌、铝、铁、铅、锡、铋、银、镍或铬的合金丝中的一种。

3.根据权利要求1所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的壳体为塑料橡胶、塑胶、树脂、陶瓷或玻璃。

4.根据权利要求1所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的化学腐蚀法是指酸溶解法或电解法。

5.一种基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，它包括壳体（1），在所述的壳体（1）上安装有毛细管基体（13），所述的毛细管基体（13）中设有气体扩散毛细管（7），其特征是所述的气体扩散毛细管（7）是通过用化学腐蚀法将预埋在毛细管基体（13）中的直径为0.02-0.3mm金属丝溶解后形成的。

6.根据权利要求5所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的设有气体扩散毛细管（7）的毛细管基体（13）的制备方法是先将长金属丝（10）预埋在长毛细管基体（11）中成形，然后将含有金属丝的长毛细管基体（11）切割成长度在0.2-6mm之间的过渡体（12），再用化学腐蚀法将过渡体（12）中的金属丝采溶解掉，最终形成设有气体扩散毛细管（7）的毛细管基体（13）。

7.根据权利要求5或6所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的金属丝为铜、锌、铝、铁、铅、锡、铋、银、镍或铬丝中的一种，也可为含铜、锌、铝、铁、铅、锡、铋、银、镍或铬的合金丝中的一种。

8.根据权利要求5或6所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的毛细管基体（13）为塑料橡胶、塑胶、树脂、陶瓷或玻璃。

9.根据权利要求5或6所述的基于毛细管化学腐蚀法的氧气体积百分比浓度传感器，其特征是所述的化学腐蚀法是指酸溶解法或电解法。