[发明专利]废水综合回收利用系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造工厂废水处理的综合回收系统，尤其涉及一种利用多种废水处理手段的废水综合回收利用系统。 

背景技术

现有的大型半导体生产制造型工厂，在整个生产制造流程中，各个工段会需要大量的工业用水，同时也会产生各种废水，传统的工艺中，均是着眼于对废水进行处理达到排放标准后进行排放，而没有从经济性的角度对整体用水、回收方案进行全盘考虑，所以造成了半导体工厂用水量很大，运行成本居高不下，没有体现节约环保型的低碳理念。

现就现有的半导体工厂废水回收处理系统进行说明，参见附图1所示，自来水供应分为两路，第一路进入到前过滤装置101进行初次过滤后进入反渗透处理102工序，经过反渗透处理后的纯水进入到用水点107供用水点使用；第二路进入到工业用水水箱103，同时工业用水水箱还存储来自第一路的反渗透处理102后的反渗透浓水，反渗透浓水与自来水在工业用水水箱103混合后用于工厂设备洗涤塔冲洗用水104以及冷却塔105的冷却用水，冲洗用水104冲洗后的回收水进入到废水水箱108，然后进行废水处理后达到规定的排放标准后进行排放。在第一路的水供应中，用水点107的产生的废水经过分类后，含氟的废水直接进入废水水箱108，不含氟的废水再经过终端清洗回用106工序进行回收处理。

终端清洗回用106的具体处理工序参见附图2，用水点107的废水首先进入阴床109（即阴离子交换器）进行阴离子交换除去一些阴离子，然后再进入到反渗透处理102中进行回收处理，同时为了让阴床109再生，需要在阴床109一端设有用于阴床109再生的碱液接入口，阴床109的另一端设有废碱排出口，通过注入碱液，从而使得阴床109再生，再生过程排出的废碱往往直接与工厂其他的废水混合后排入到废水水箱108中，废水水箱108主要用于对排入其中的废液按照PH值的大小投入酸液或者碱液使之中和，然后排出，为了保证中和的效果，往往会设置多个酸碱中和池，从而保证中和的效果。在第一酸碱中和池111中首先根据池中PH值投入酸液或者碱液进行中和，然后依次在第二酸碱中和池112、第三酸碱中和池113、第四酸碱中和池114中投入酸液或者碱液，直至第四酸碱中和池114中的废液的PH值约为6.9-9范围内，然后进行排放。

现行的工厂污水处理的实践经验表明，现有的污水回收处理系统存在如下几个方面的问题：

1、用水点107产生的一部分不含氟废水经过终端处理回用106后再次进行反渗透处理102，一般工厂废水中都富含金属离子，虽然经过终端处理回用106工序中的阴床109处理后，金属离子含量较少，但是还是有相当部分的金属离子进入到反渗透处理102中，反渗透装置的反渗透膜非常容易结垢，从而使反渗透膜的寿命极短，经常需要更换，直接增加了废水回收处理的成本；

2、终端处理回用106中的阴床109再生时产生的废碱没有进行利用直接作为废水进行排放，而到了酸碱中和时，还需要为了中和碱液投入大量的酸液，从而造成了双重的浪费，提高了污水处理的成本，造成了资源的极大浪费；

3、用水点108产生的含氟废水以及洗涤塔冲洗用水104产生的废水没有经过回收直接进入到废水水箱108中然后经过处理后排放，从而造成了大量用水的浪费。 

发明内容

针对现有半导体制造工厂废水回收利用处理系统的不足，本发明的目的是提供一种废水综合回收利用系统，通过引入多种废水处理手段，着眼于废水处理的经济性，不但节约成本，而且使废水回收利用率大为提高，降低了废水排放量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种废水综合回收利用系统，市用自来水一路首先进行前过滤处理，然后进行反渗透处理后进入到用水点供生产用水点使用；市用自来水另一路首先进入工业用水水箱，然后供给冲洗用水以及冷却塔用水，所述用水点使用后产生的一部分废水进行终端清洗回用处理后再次返回到反渗透处理工序中，所述用水点使用后产生的另一部分废水以及所述冲洗用水、冷却塔用水产生的废水经过废水回收后产生的废水进入到废水水箱中，经过废水回收后产生的回收水返回到工业用水水箱再次利用，废水水箱内的废水经过处理后排放。

进一步优选地，所述废水回收是指废水经过第一次PH值调节后进行微滤过滤处理后进行第二次PH值调节后进入工业用水水箱。

进一步优选地，所述微滤过滤处理是指通过圆形平板超滤膜过滤器进行过滤。

进一步优选地，所述反渗透处理后的浓水再次进行反渗透浓水回收，回收产生的废水直接进入废水水箱，回收后的透过水进入到反渗透处理的供水工序中进行再次处理。