[发明专利]陶瓷球电主轴及划片机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路封装设备制造领域，特别是指一种陶瓷球电主轴及划片机。

背景技术

划片机是将玻璃、石英、陶瓷等硬脆材料划切成单个的电子元器件的精密切割设备。划片机的工作机理是强力磨削，电主轴是强力磨削的执行部件。电主轴是将电机的定子、转子直接装入电主轴的内部，有时也称作直接驱动主轴(Direct Drive Spindle)，是内装式电机主轴。

目前，划片机上使用的电主轴是空气静压电主轴，空气静压电主轴旋转精度高、但刚性差，无法满足厚脆硬材料(厚度大于2毫米)的切割，特别是无法满足在脆硬材料表面开V型槽的需要。本发明的发明人发现，现有技术的划片机电主轴的由于刚性不够，在切割厚脆硬材料时经常产生转轴失稳，使旋转轴和空气轴承之间直接接触产生干摩擦，导致旋转轴的精度迅速丧失，如系统不使电主轴停止运行，则将影响电主轴工作的精度甚至烧坏电主轴的轴承和电机。

针对相关技术中出现划片机在切割厚硬脆材料时，由于高速空气静压电主轴的刚性差，导致空气静压电主轴工作的精度差，甚至被磨损甚至报废的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种陶瓷球电主轴及划片机，能够使主轴不会因刚性差而发生旋转轴抱死，保证旋转轴长时间工作情况下也能保持精度。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种陶瓷球电主轴，包括：

一旋转轴组件；

固定在所述旋转轴组件前端、用于夹持切割刀片的刀架组件；

固定在所述旋转轴组件前部的前轴承组件；

固定在所述旋转轴组件中部的定子；

固定在所述旋转轴组件后部的后轴承组件；以及

固定在所述后轴承组件后端盖上、与所述旋转轴组件后端接触的碳刷组件；

其中，所述前轴承组件包括两陶瓷球前轴承，所述后轴承组件包括两陶瓷球后轴承。

其中，所述旋转轴组件包括：一主轴、与所述主轴过盈配合连接的转子以及通过螺纹固定在所述主轴上的主轴螺钉；

所述刀架组件包括：一前刀架，与所述前刀架间隙配合的一后刀架，用于锁紧所述前刀架和所述后刀架的刀架锁母；

所述前轴承组件包括：通过螺纹固定在所述主轴上的一甩盘，一外壳体，通过螺钉固定在所述外壳体上、过盈配合组装在一起的前端盖内套和前端盖，两陶瓷球前轴承，设置在所述两陶瓷球前轴承之间的前轴承调整隔圈，过盈配合固定在所述外壳体内的冷却套；

所述后轴承组件包括：通过间隙配合连接在主轴上的后轴承顶套，两陶瓷球后轴承，后轴承调整隔圈，通过螺纹连接固定在所述主轴上的后轴承锁母，通过螺钉固定在所述外壳体上的后端盖；

所述碳刷组件包括：通过螺钉固定在所述后端盖上的碳刷架，通过螺钉固定在所述碳刷架上的碳刷端盖，通过螺钉固定在所述碳架端盖上的碳刷固定块，通过螺纹固定在所述碳刷固定块上的碳刷螺钉，通过碳刷弹簧与所述碳刷螺钉连接的碳棒。

其中，所述陶瓷球电主轴还包括一固定在所述主轴上的主轴锁母，用于将所述刀架组件锁紧在所述主轴前端锥面上。

其中，所述甩盘与所述前端盖内套之间设有一迷宫密封结构。

其中，所述外壳体与所述冷却套之间设有一电机冷却水道。

本发明实施例还提供了一种划片机，包括电主轴，所述电主轴包括：

一旋转轴组件；

固定在所述旋转轴组件前端、用于夹持切割刀片的刀架组件；

固定在所述旋转轴组件前部的前轴承组件；

固定在所述旋转轴组件中部的定子；

固定在所述旋转轴组件后部的后轴承组件；以及

固定在所述后轴承组件后端盖上、与所述旋转轴组件后端接触的碳刷组件；

其中，所述前轴承组件包括两陶瓷球前轴承，所述后轴承组件包括两陶瓷球后轴承。

其中，所述旋转轴组件包括：一主轴、与所述主轴过盈配合连接的转子以及通过螺纹固定在所述主轴上的主轴螺钉；

所述刀架组件包括：一前刀架，与所述前刀架间隙配合的一后刀架，用于锁紧所述前刀架和所述后刀架的刀架锁母；

所述前轴承组件包括：通过螺纹固定在所述主轴上的一甩盘，一外壳体，通过螺钉固定在所述外壳体上、过盈配合组装在一起的前端盖内套和前端盖，两陶瓷球前轴承，设置在所述两陶瓷球前轴承之间的前轴承调整隔圈，过盈配合固定在所述外壳体内的冷却套；