[发明专利]基于一维达曼光栅的三维表面形貌测量装置无效
| 申请号： | 201110002462.3 | 申请日： | 2011-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102155925A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 周常河;于耀;王少卿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 一维达曼 光栅 三维 表面 形貌 测量 装置 | ||
1.一种基于一维达曼光栅的三维表面形貌测量装置，包括激光光源(1)和计算机，其特征在于沿所述的激光光源(1)激光输出方向同光轴地依次设置平行光管(2)、小孔光阑(3)、达曼光栅(4)、准直透镜(5)、被测物体(6)和参考平面(7)，所述的参考平面(7)置于所述的准直透镜(5)的傅里叶变换平面上，所述的被测物体(6)置于一个平移台(8)和参考平面(7)上，所述的平移台(8)具有带动所述的被测物体(6)作垂直于所述的光轴运动的机构，实现照明光束对被测物体(6)的一维扫描，具有CCD入瞳(9)和CCD靶面(10)的CCD接收器位于所述的被测物体(6)反射的结构光方向，所述的CCD接收器的输出端与所述的计算机的输入端相连，从激光光源(1)出射的激光光束，经平行光管(2)、小孔光阑(3)照射在所述的达曼光栅(4)上，经所述的达曼光栅(4)分束后成像在被测物体(6)的表面，被测物体(6)反射的结构光经CCD入瞳(9)采集成像在CCD靶面(10)上，所述的参考面(7)和被测物体(6)表面的反射点在所述的CCD接收器的CCD靶面(10)上成像的相对距离确定物体表面的反射点和参考面反射点的相对距离。
2.一种基于一维达曼光栅的三维表面形貌测量装置，包括激光光源(1)和计算机，其特征在于沿所述的激光光源(1)激光输出方向依次是平行光管(2)、小孔光阑(3)、振镜(11)、达曼光栅(4)、准直透镜(5)、被测物体(6)和参考平面(7)，所述的参考平面(7)置于所述的准直透镜(5)的傅里叶变换平面上，所述的被测物体(6)置于所述的参考平面(7)上，所述的振镜(11)的转动实现照明光束对被测物体(6)的一维扫描，具有CCD入瞳(9)和CCD靶面(10)的CCD接收器位于所述的被测物体(6)反射的结构光方向，所述的CCD接收器的输出端与所述的计算机的输入端相连，从激光光源(1)出射的激光光束，经所述的平行光管(2)、小孔光阑(3)、振镜(11)后照射在所述的达曼光栅(4)上，经所述的达曼光栅(4)分束后成像在被测物体(6)的表面，被测物体(6)反射的结构光经CCD入瞳(9)采集成像在CCD靶面(10)上，所述的参考面(7)和被测物体(6)表面的反射点在所述的CCD接收器的CCD靶面(10)上成像的相对距离用来确定物体表面的反射点和参考面反射点的相对距离。
3.根据权利要求1或2所述的基于一维达曼光栅的三维表面形貌测量装置，其特征在于所述的达曼光栅(4)为一维达曼光栅。
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