[发明专利]一种氧化镁蒸镀装置

权利要求书

1.一种氧化镁蒸镀装置，其特征是：包括一块衬底玻璃，衬底玻璃的上部放置有一对超薄基板玻璃；带有两个方孔的铝箔覆盖衬底玻璃，方孔中心对准超薄基板玻璃；使用衬底玻璃固定夹子将铝箔和衬底玻璃固定在衬底玻璃下部的铝板上，由垫有铝片的超薄基板玻璃固定夹子将超薄基板玻璃固定在衬底玻璃上，铝板固定在其下部的铝架上。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是：在两个方孔中间的铝箔上放置有沿衬底玻璃宽度方向延伸的铝条，使用衬底玻璃固定夹子将铝条、铝箔和衬底玻璃固定在铝板上，铝条的长度等于衬底玻璃宽度。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是：衬底玻璃为平整度极高且耐高温的衬底玻璃。

4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是：两个方孔中心间距等于超薄基板玻璃边长。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是：衬底玻璃上刻有的用于确定蒸镀区域的基准点。

6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征是：衬底玻璃固定夹子与超薄基板玻璃固定夹子所在的钻孔位置离衬底玻璃边线的距离差值大于衬底玻璃的宽度与超薄基板玻璃边长差值的一半，而小于夹子的长度。