[发明专利]薄膜太阳电池用槽加工工具及其角度限制结构

说明书

技术领域

本发明涉及槽加工工具，特别地，涉及由保持器保持、并与保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动从而形成沿一个方向延伸的槽的加工工具。此外，本发明还涉及用于对该槽加工工具的安装角度进行限制的角度限制结构。

背景技术

作为薄膜太阳电池，例如如专利文献1所示，提供了层叠多层薄膜而形成的集成型薄膜太阳电池。在该专利文献1记载的集成型薄膜太阳电池中，在玻璃等的基板上形成由钼膜构成的下部电极膜，然后将下部电极膜分割为长条状(短冊状)。接着，在下部电极膜上形成化合物半导体膜，该化合物半导体膜包括CIGS(铜铟镓硒)膜等黄铜矿(chalcopyrite)结构化合物半导体膜。接着，进一步，将这些半导体膜的一部分呈带(stripe)状地除去从而将这些半导体膜分割为长条状，并且以覆盖这些半导体膜的方式形成上部电极。接着，最后，将上部电极膜的一部分呈带状地除去来进行分割。

如上所述地操作，从而形成由多个单元电池串联连接而成的集成型薄膜太阳电池。此时，为了将膜的一部分呈带状地除去，使用槽加工工具和剥离工具。槽加工工具和剥离工具经由保持器设置在加工机构的工作台上。并且，当利用槽加工工具形成两个槽之后，利用剥离工具将两个槽之间的薄膜剥离。

专利文献1：日本特开2002-33498号公报

如专利文献1所示，在利用槽加工工具或者剥离工具形成槽并将薄膜剥离时，需要将工具的安装角度设定成与槽的形成方向一致。在未相对于槽的形成方向将工具设定成预定的角度的情况下，存在得不到预期的槽宽、或者因工具的前端形成单侧接触而产生膜的剥落的情况。

为了防止上述那样的因工具的安装角度不准确而发生的不良情况，在更换工具等的时候需要进行工具安装角度的调整作业。具体来说，将工具和保持器安装于工具角度调整用的其他装置，在利用显微镜确认工具的同时进行工具的安装角度的调整。这样的调整作业非常麻烦，而且需要较长的作业时间。

发明内容

本发明的课题在于，在将槽加工工具安装于保持器时，能够通过简单的作业准确地调整角度。

第一技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具被保持于保持器，并与保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿一个方向延伸的槽，该薄膜太阳电池用槽加工工具具备：工具主体，其保持于保持器；和刀锋部。刀锋部形成于工具主体的前端部，并且在刀锋部的前端具有槽加工用的刀锋。并且，在工具主体设有角度限制部，以便在工具主体被保持器保持的状态下将刀锋部相对于槽形成方向固定成预定的姿势。

在此，在工具主体被保持器保持的状态下，利用角度限制部将工具主体固定成预定的姿势。由此，在将工具安装于保持器时，无需使用显微镜等装置，能够简单地始终以恒定的姿势进行安装。并且，由于能够在工具的姿势始终恒定的状态下对槽进行加工，因此能够使所形成的槽的加工质量稳定。

第二技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第一技术方案的工具中，刀锋部沿薄膜上的槽的形成方向以相同的宽度在预定的长度范围内延伸。此外，在工具主体被保持器保持的状态下，角度限制部使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。

在此，刀锋部沿槽形成方向以相同宽度延伸。由此，即使刀锋磨损也能够继续进行加工。在这样的结构的工具中，需要使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。因此，通过角度限制部，能够在工具主体被保持器保持的状态下使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。

第三技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第二技术方案的工具中，刀锋部在工具主体的整个宽度范围内延伸。

在该情况下，能够较高地维持刀锋部的强度。此外，即使刀锋进一步磨损，也能够延长工具的可加工寿命。

第四技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第一至第三技术方案中的任意一种工具中，角度限制部通过使工具主体的至少一部分形成为矩形而构成。在该情况下，由于工具主体的至少一部分为矩形，因此若将该矩形部分插入保持器侧的矩形槽中，则能够以简单的结构限制工具主体的角度。

第五技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第四技术方案的工具中，工具主体全部形成为矩形，并且该工具主体的一部分发挥作为角度限制部的功能。

在该情况下，由于工具主体自身为矩形，因此无需特别的加工就能够构成角度限制部。