[发明专利]一种多晶硅晶体生长炉热场结构

权利要求书

1.一种多晶硅晶体生长炉热场结构，它包括由上保热屏、侧保温屏和保温底板构成的固定保温屏，在固定保温屏内设有长晶器、坩埚和加热器；其特征在于：在保温底板的下部设有热门，在热门下部连接设有热交换器，热门上还连接设有热门开启装置。

2.根据权利要求1所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门由若干块门体对称设置，每块门体均与热门开启装置连接。

3.根据权利要求2所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门由4块门体呈中心对称设在保温底板的下部。

4.根据权利要求2所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门由2块门体呈左右对称设在保温底板的下部。

5.根据权利要求4所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门开启装置包括连接在一块门体上的电动推杆，电动推杆通过连动装置与另一块门体连接。

6.根据权利要求1所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热交换器的周围设有保温层，在热交换器内部设有冷却水管道，在热交换器上还设有与冷却水管道连通的进水管和出水管。

7.根据权利要求1所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的加热器设在坩埚的四周，或者设在坩埚的四周及顶部。

8.根据权利要求1-4、6-7任何一项所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门开启装置包括电机，电机通过传动机构与转轴连接，转轴上连接设有曲柄和导轨，导轨上设有连杆销，曲柄与连杆连接，连杆与热门分别连接在连杆销上。

9.根据权利要求1-4、6-7任何一项所述的多晶硅晶体生长炉热场结构，其特征在于：所述的热门开启装置为连接在热门上的电动推杆。