[发明专利]一种稳定调节三氯氢硅纯度的控制方法无效
| 申请号： | 201110003082.1 | 申请日： | 2011-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102101672A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李汉;王波;张璐璐;陈维平;薛民权 | 申请（专利权）人： | 华陆工程科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;C01B33/035 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710075*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 调节 三氯氢硅 纯度 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种稳定调节三氯氢硅纯度的控制方法，根据西门子的气相沉积法制造多晶硅，将粗氯硅烷连续送入精馏塔，塔的操作特性与回流量不变，其特征是分别在精馏段和提馏段设置四个温度测量点，通过计算得到两个温差值，再将这两个温差值相减得到双温差值；通过稳定双温差值以及调节塔顶馏出量D与进料量F的比值，起到控制塔底采出液中杂质元素含量的目的，得到高纯的三氯氢硅，并且可以通过调节不同的温差点得到不同纯度的产品。
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