[发明专利]含有聚硅氮烷的涂布组合物

权利要求书

1.一种涂布组合物，该涂布组合物含有全氢聚硅氮烷和溶剂，其特征在于：前述全氢聚硅氮烷的分子量分布曲线分别在分子量800～2,500的范围和分子量3,000～8,000的范围内具有极大值，重均分子量Mw和数均分子量Mn的比Mw/Mn是6～12。

2.根据权利要求1所记载的涂布组合物，其中全氢聚硅氮烷的含有率以涂布组合物的全部重量为基准，是10～25重量％。

3.根据权利要求1或2所记载的涂布组合物，其中前述全氢聚硅氮烷是重均分子量为800～2,500的低分子量聚硅氮烷和重均分子量为3,000～8,000的高分子量聚硅氮烷的混合物。

4.根据权利要求3所记载的涂布组合物，其中前述低分子量聚硅氮烷和高分子量聚硅氮烷的重量比是3∶7～6∶4。

5.一种硅质膜的形成方法，特征在于，包括：

在具有凹凸的基板表面上涂布一种涂布组合物的涂布工序，该涂布组合物含有全氢聚硅氮烷和溶剂，且前述全氢聚硅氮烷的分子量分布曲线分别在分子量800～2,500的范围和分子量3,000～8,000的范围内具有极大值，重均分子量Mw和数均分子量Mn的比Mw/Mn是6～12；

以及将涂布后的基板在小于1000℃的氧气氛或包含水蒸气的氧化气氛中进行加热处理，将前述组合物转变为二氧化硅膜的固化工序。

6.根据权利要求5所记载的硅质膜的形成方法，该方法进一步包含在涂布工序和固化工序之间，将涂布后的基板在50℃～400℃加热10秒钟～30分钟的预烘焙工序。