[发明专利]一种双路单频激光干涉仪

权利要求书

1.一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：它包括一双频激光头、一偏振分光棱镜和两组相同的单频激光干涉系统；每一组单频激光干涉系统包括两个1/4波片，一个半波片，三个偏振分光棱镜，一个消偏振分光棱镜，两个角反射镜，一个反射镜和四个光电探测器，其中一个角反射镜作为测量镜固定不动，另一角反射镜放置在测量目标上；所述双频激光头发出正交偏振的线偏振光束，经偏振分光棱镜分成两束线偏振光，其中透射的线偏振光入射到第一组单频激光干涉系统中，反射的线偏振光入射到第二组单频激光干涉系统中。

2.如权利要求1所述的一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：它还包括一直角棱镜，所述双频激光头发出正交偏振的线偏振光束，经偏振分光棱镜分成两束线偏振光后，其中反射的线偏振光先经过所述直角棱镜反射后，再入射到第二组单频激光干涉系统中。

3.如权利要求1或2所述的一种双路单频激光干涉仪，其特征在于：进入每一组所述单频激光干涉系统的光束经过1/4波片转成圆偏振光，再经过偏振分光棱镜分成两束线偏振光，两束线偏振光分别经过一角反射镜反射后返回，再次经过所述偏振分光镜后合成一束正交偏振光；所述正交偏振光束经过反射镜反射后，入射经过半波片偏振方向旋转45°，再经过消偏振分光棱镜等分成两束光；其中一束光入射到偏振分光棱镜上分成两束线偏振光，两束偏线振光被两个光电探测器探测；另一束光经过一1/4波片后转成一束叠加的左旋和右旋圆偏振光，再经过一偏振分光棱镜后分成两束线偏振光，两束偏线振光被另外两个光电探测器探测。