[发明专利]加速度传感器和加速度检测装置

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于，

该加速度传感器具有压电传感器以及具有支承该压电传感器的第1支承面和第2支承面的支承基板，

所述压电传感器具有：压电传感器要素，其生成与检测轴方向的力对应的电信号；第1被固定部和第2被固定部，它们分别固定在所述第1支承面和第2支承面上，以便在所述支承基板上支承所述压电传感器要素；以及第1梁～第4梁，它们将所述第1被固定部和所述第2被固定部分别与所述压电传感器要素连接，

所述支承基板具有：固定侧的第1基板片，其具有固定所述第1被固定部的所述第1支承面；可动侧的第2基板片，其具有在该第1支承面的面方向上并列设置且支承所述第2被固定部的所述第2支承面；以及铰链部，其连接所述第1基板片与所述第2基板片的相对的侧端缘之间，使该第2基板片向厚度方向摆动，

所述压电传感器要素是向与所述检测轴方向垂直的方向延伸的细长结构，并且，以使该传感器要素的短边方向中心部位于所述铰链部的短边方向宽度内的方式，沿着所述铰链部的长度方向与所述支承面分开配置，

所述第1梁连接所述第1被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的一端部，

所述第2梁连接所述第1被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的另一端部，

所述第3梁连接所述第2被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的一端部，

所述第4梁连接所述第2被固定部与所述压电传感器要素的长度方向的另一端部。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

从与所述第1支承面和第2支承面垂直的方向观察到的所述第1梁～第4梁分别呈全长为同一宽度的窄带状。

3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第1基板片和所述第2基板片与所述铰链部一体形成，并且，所述第1基板片的所述第1支承面和所述第2基板片的所述第2支承面位于同一平面上。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述压电传感器要素的短边方向中心部的位置与所述铰链部的短边方向宽度中心部一致。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第1梁～第4梁均为直线状，

在所述第1被固定部中所述第1梁与所述第2梁所成的角度以及在所述第2被固定部中所述第3梁与所述第4梁所成的角度分别为钝角。

6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第1梁～第4梁均为L字状，

所述第1梁与所述第2梁以及所述第3梁与所述第4梁分别连接成コ字状。

7.根据权利要求1～5中的任意一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述第1梁～第4梁均为圆弧状，

所述第1梁与所述第2梁以及所述第3梁与所述第4梁分别连接成半圆状、半椭圆状或半长圆状。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述加速度传感器具有如下结构：与所述第1梁和第2梁的交叉部相比，所述第1被固定部的至少一部分向梁的外侧突出，与所述第3梁和第4梁的交叉部相比，所述第2被固定部的至少一部分向梁的外侧突出。

9.一种加速度检测装置，其特征在于，该加速度检测装置具有：

权利要求1或2所述的加速度传感器；以及

IC，其具有：激励所述加速度传感器的压电传感器要素的振荡电路、对所述振荡电路的输出频率进行计数的计数器、以及对所述计数器的信号进行处理的运算电路。