[发明专利]特别是用于用以制造多晶硅的反应器的模块式供电装置

权利要求书

1.模块式供电装置，特别是用于用以制造多晶硅的反应器，具有中央的控制单元和至少一个基本供电单元，其中，

控制单元具有至少一个调节和控制装置，用于调节和/或控制基本供电单元；

基本供电单元具有：

至少一个输入端，用于给基本供电单元供应电能；

至少一个输出端，用于与一组负载连接，这些负载通过基本供电单元能够被供应从供电网络获得的电能，以及

可控制的开关，优选为闸流晶体管，这些开关至少间接地与输入端连接和至少间接地与输出端连接，并且，通过这些开关能够调节经由输出端可供给负载的能量，其中，所述开关能够通过控制单元进行控制；

其特征在于，

控制单元是控制模块，基本供电单元是基本供电模块；

控制模块具有用于与供电网络连接的输入端，用以给控制模块供给电能；

供电装置具有通信总线；和

控制模块和基本供电模块都具有接口，控制模块和基本供电模块通过该接口与通信总线连接。

2.如权利要求1所述的模块式供电装置，其特征在于，模块式供电装置具有一变压器，该变压器带有多个次级侧的抽头。

3.如权利要求2所述的模块式供电装置，其特征在于，变压器的各抽头分别配设于基本供电模块的一个输入端，以及，基本供电模块的每个输入端分别配有一组可控制的开关，以便调节通过该输入端可接收的电能。

4.如权利要求3所述的模块式供电装置，其特征在于，各组可控制的开关，在没有中间连接其他的开关、特别是机械式开关例如保护器的情况下，一方面与基本模块的各输入端和另一方面与基本模块的输出端连接。

5.如权利要求4所述的模块式供电装置，其特征在于，在各组可控制的开关与输出端之间设有一个节点，该节点能够通过一个另外的可控制的开关与一个基准电位连接。

6.如权利要求1至5之一所述的模块式供电装置，其特征在于，模块式供电装置具有多个相同的或者相同类型的基本供电模块。

7.如权利要求1至6之一所述的模块式供电装置，其特征在于，模块式供电装置具有中压供电模块，该中压供电模块具有至少一个用于与电网或与供应电能用的变压器连接的输入端，和多个输出端，用于分别与负载组中的一个负载连接，这些负载能够被供应必要时经由变压器从供电网络获得的电能；中压供电模块还具有接口，模块式供电装置通过该接口与通信总线连接。

8.如权利要求6或7所述的模块式供电装置，其特征在于，中压供电模块具有至少一个变流器，用于升高在输入端上能施加的电压。

9.如权利要求7所述的模块式供电装置，其特征在于，中压供电模块的每个输出端配有一个变流器。

10.如权利要求6至8之一所述的模块式供电装置，其特征在于，至少在给连接于中压供电模块的输出端上的负载供电时，各输出端上的链接的电压等于0V。

11.如权利要求1至9之一所述的模块式供电装置，其特征在于，模块式供电装置具有中频供电模块，该中频供电模块具有至少一个输入端，用于与供应电能用的电网连接，和多个输出端，用于分别与负载组中的一个负载连接，这些负载能够被供应从供电网络获得的电能；中频供电模块还具有接口，模块式供电装置通过该接口与通信总线连接。

12.如权利要求10所述的模块式供电装置，其特征在于，中频供电模块具有一个或更多个变频器，以便升高供电网络的在输入端上能施加的电压的频率。

13.如权利要求12所述的模块式供电装置，其特征在于，每个输出端配有所述变频器之一的一个输出端。

14.如权利要求10至12之一所述的模块式供电装置，其特征在于，至少在给连接于中频供电模块的输出端上的负载供电时，在中频供电模块的一对输出端上的链接的电压等于0V。

15.如权利要求10至14之一所述的模块式供电装置，其特征在于，中频供电模块的各输出端分别配有两个接头，每对输出端具有两个外部的接头和一个内部的接头，其中，各外部的接头分别配设于该对输出端的两个输出端中的一个输出端，而内部的接头配设于该对输出端的两个输出端。