[发明专利]对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器有效
| 申请号： | 201110007690.X | 申请日： | 2011-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN102097745A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王磊;张璇;虞婷婷;何建军 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/125 | 分类号： | H01S5/125 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对称 刻蚀 反射 形成 布拉格 光栅 波长 调谐 激光器 | ||
【权利要求书】：
1.一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器，包括增益波导(1)、前布拉格反射镜和后布拉格反射镜，整个激光器在垂直方向由上包层(5)、芯层(6)和下包层(7)构成；其特征在于：所述前布拉格反射镜(2)由前波导(21)以及沿前波导(21)轴向等间隔排列的与前波导(21)中心线两侧对称的前刻蚀槽组(22)组成，所述后布拉格反射镜(3)由后波导(31)以及沿后波导(31)轴向等间隔排列的与后波导(31)中心线两侧对称的后刻蚀槽组(32)组成，所述前刻蚀槽组(22)和后刻蚀槽组(32)中的刻蚀槽刻蚀穿过对应区域的芯层(6)。
2.根据权利要求1所述的一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器，其特征在于：所述的等间隔前刻蚀槽组(22)和等间隔后刻蚀槽组(32)排列的周期是不相等。
3.根据权利要求1所述的一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器，其特征在于：所述的增益波导(1)和后布拉格反射镜(3)之间还包括一个相位调谐区(8)。
4.根据权利要求1所述的一种对称刻蚀槽反射形成布拉格光栅的波长可调谐激光器，其特征在于：所述的前波导(21)和后波导(31)相对于增益波导(1)同侧倾斜角为5o～15o。
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